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FmGePtypeonSiNtypea101D05C1US
Film di Ge di tipo P da 4" su wafer di silicio di tipo N, spessore 0,5 um - FmGePtypeonSiNtypea101D05C1US
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Film di Ge di tipo P da 4" su wafer di silicio di tipo N, spessore 0,5 um - FmGePtypeonSiNtypea101D05C1US
MTI
Specifiche:
- Wafer di silicio
- Tipo: N/P drogato
- Orientamento: (100)
- Dimensioni: 4'' dia
- Spessore: 500 - 550 um
- Grado: Primo
- Lamelle: 2 SEMI-STD su Asse 0 gradi off
- Retro: Mordenzatura
- Particelle: < 50 @ >0,20 um
- Resistività: 1-10 ohm.cm
- TDD: <1E8 cm^2
- Film: Ge epi-film
- Spessore: 0,5 um +/- 3%
- Orientamento: (100)
- Tipo: Tipo P
- Concentrazione di drogante: ~1E19 /cc
- Corrente RMS spec: Ra < 2 nm
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