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Pellicola epi-film di Ge di tipo N da 4" su wafer di silicio di tipo N, spessore 0,5 um - FmGeNtypeonSiNtypea101D05C1US

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Pellicola epi-film di Ge di tipo N da 4" su wafer di silicio di tipo N, spessore 0,5 um - FmGeNtypeonSiNtypea101D05C1US

MTI

Specifiche:

  • Wafer di silicio
    • Tipo: N/P drogato
    • Orientamento: (100)
    • Dimensioni: 4'' dia
    • Spessore: 500 - 550 um
    • Grado: Primo
    • Lamelle: 2 SEMI-STD su Asse 0 gradi off
    • Resistività: 1-10 ohm.cm
    • Retro: Mordenzatura
    • Particelle: < 50 @ >0,20 um
    • TDD:  <1E8 cm^2
  • Pellicola: Ge epi-film 
    • Spessore: 0,5 um +/- 3%
    • Orientamento: (100)
    • Tipo: Tipo N 
    • Concentrazione di drogante: ~5E18 /cc
    • Corrente RMS spec: Ra < 2 nm



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