Generador de RF de 300 W y 13,56 MHz para horno tubular de 50, 80 ó 125 mm de diámetro exterior - OTF-PECVD-RF

Generador de RF de 13,56 MHz de hasta 300 W para bricolaje de PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) para grabado por plasma, limpieza por plasma y polimerización por plasma, etc.

ESPECIFICACIONES

Ruido	<50 dB
Potencia de salida	5 -300 W ajustable con ± 1% de estabilidad
Frecuencia RF	13,56 MHz ±0,005% de estabilidad
Potencia de reflexión	200 W máx.
Adaptación	Adaptación automática
>Puerto de salida RF	50 ?, tipo N, hembra
Refrigeración	Refrigeración por aire
Alimentación	208-240VAC, 50/60Hz
Tamaño del tubo	50, 80 o 125 mm OD por favor seleccione de la barra de opciones ( bobina de mayor diámetro hasta 11" de diámetro está disponible bajo petición )
Aplicación	Combine con el horno tubular de MTI para obtener un sistema PECVD
Dimensión
Opcional	Puede solicitar la bomba sin aceite para contaminación cero, los tubos de cuarzo y las bridas de vacío haciendo clic en las imágenes siguientes:
Vídeo de demostración
Garantía	Un año de garantía limitada con asistencia de por vida