ALD/CVD/PVD

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Sistema compacto de suministro de gas MFC de 2 canales con panel de control táctil PLC- GSL-2Z-LCD-S

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Controlador de caudal másico computerizado (máx. 1000 SCCM) - EQ-MFC-COM

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Controlador de caudal másico equivalente a N2 hasta 5000sccm (SIN pantalla, Producto sólo para sustitución) - MFC-7B

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Mezclador de gas anticorrosión compacto de tres canales fabricado en PTFE (100 -1000 mL/min) - EQ-CGM-3F-PTFE

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Estación de control de mezcla de gas de tres canales anticorrosión fabricada con piezas de PTFE - GSL-3F-PTFE

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Unidad de control ALD de 2 canales con sistema de suministro de gas MFC de 4 canales - EQ-ALD-GSL-4

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Sistema de control de gas de 2-9 canales con panel táctil PLC y software de funcionamiento para PC - GSL-LCD

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Estación de mezcla de gases con caudalímetros de flotador de tres canales y válvulas - GSL-3F-SS

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Mezclador compacto de dos canales para gases traza (caudalímetro de 16 -160 ml/m) - CGM-2F

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Horno tubular de 1100°C con sublimador de precursores sólidos para capas CVD 2D de TMDs - OTF-1200X-4-NW-UL

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Horno rotativo de CVD 1200C de dos zonas y 4" con sistema automático de alimentación y recepción - OTF1200XIIR4-AF

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Horno Micro-CVD/PVD para análisis in situ con 2 zonas de calentamiento, 1100°C máx. - GSL-1100-Micro

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Horno rotativo PE-HPCVD 1200C con evaporador in situ, MFC de 4 canales y bomba de vacío - OTF-1200X-II-PEC4

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Horno tubular 1200C con juego anticorrosivo: Bridas de PTFE y mezclador de gas - OTF-1200X-80-F3LV-PTFE

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Horno tubular de dos zonas de 1200°C máx. Horno tubular de 80 mm de diámetro exterior con evaporador de líquido, detectores de humedad y H2 y válvula de cierre - OTF-1200X-II-80HG-UL

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Horno de 3 zonas (5" de diámetro, 1200C máx.) con brida deslizante, mezclador de gas y bomba de vacío -OTF-1200X-III-5-C3LVSF

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Horno tubular de alúmina de una zona 1700C con mezclador de gas de 3 canales, estación de vacío y vacuómetro anticorrosivo - GSL-1700X-F3LV

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Horno tubular de alúmina 1700C de tres zonas de 60 mm con mezclador de gas y sistema de vacío* - GSL-1700X-60-III-F3LV

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Horno tubular de una zona (diámetro 80 mm, 1200C máx.) con mezclador de gas de 3 canales, bomba de vacío y vacuómetro anticorrosivo - OTF-1200X-80-F3LV

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Horno tubular 1700C con sistema de regulación de la presión de vacío de precisión (E-4 torr) - GSL-1700X-PRY-UL-LD