Controlador de caudal másico equivalente a N2 hasta 5000sccm (SIN pantalla, Producto sólo para sustitución) - MFC-7B
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Controlador de caudal másico equivalente a N2 hasta 5000sccm (SIN pantalla, Producto sólo para sustitución) - MFC-7B
MTI
EQ-MFC-7B es una MFC rentable para MTI's CVD/PECVD/Graphene horno para controlar la tasa de flujo de gas para diferentes propósitos de investigación.
- La MFC se calibra de forma estándar con N2 cuando sale de fábrica, la calibración de otros gases puede ser aproximada mediante la conversión de los factores de conversión de nuestras instrucciones,
- Otros gases de calibración MFC se puede pedir a petición, por favor envíenos un correo electrónico para el precio, el plazo de entrega es de 8 -10weeks después de PO.
- Controlador de flujo másico para el uso en Sistemas de Control de Gas de Canal Múltiple MTI solamente
- Ideal para revestimiento al vacío y otras aplicaciones de mezcla de gases.
- Conexión DB15 estándar internacional; se conecta a los hornos MTI con conexión Swagelok1/4
- Nota Este MFC es para reemplazar el sistema de mezcla y suministro de gas MTI en el producto relacionado abajo. Para utilizarlo de forma independiente, es necesario pedir el MFC-COM.
Especificación
| Rango de escala completa (N2) | ( 0100,200, 500, 1000, 2000, 5000)SCCM Otros rangos pueden ser personalizados a un costo adicional, por favor envíe un correo electrónico a info@mtixtl.com |
| Precisión | ±1,5% F.S. |
| Repetibilidad | ±0,2% FS |
| Linealidad | ±1% FS |
| Tiempo de respuesta | ≤10seg |
| Configuración de la válvula | Normalmente cerrada |
| Temperatura de funcionamiento | 545 |
| Señal de entrada | (05) VDC |
| Señal de salida | (05) VDC |
| Alimentación | +15V 50mA; -15V 200mA |
| Conector electrónico | D sub 15 pines macho |
| Presión diferencial | (0.10.5) Mpa |
| Presión máxima | 3MPa |
| Integridad de fuga | 1×10-8 atm-cc / seg He |
| Materiales de las juntas | Viton; Neopreno |
| Racores | Swagelok1/4 |
| Peso | 1,1 kg |
