Sistema compacto de suministro de gas MFC de 2 canales con panel de control táctil PLC- GSL-2Z-LCD-S

• Dos Controladores de Flujo Másico de Precisión ( MFC) en el lado )
• Temperatura de trabajo : 5~45 ºC
• Max. Presión: 3x106^Pa
• Precisión: ±1.5% FS
• Liner: ±0.5-1.5%F.S.
• Precisión de duplicado: ±0,2%F.S.
• Rango de control:
• Controlador 1: 1~ 99 SCCM
• Controlador 2: 1~199 SCCM

Alimentación

• Voltaje: AC 208 - 240V Monofásico 50/60Hz
• Potencia: 100 W en total
• Puede pedir un transformador de 100W para funcionar a 110VAC ( Haga clic en Pic abajo para pedir )

Pantalla táctil del PLC

• Panel de control con pantalla táctil en color de 6" para facilitar la configuración de parámetros.
• Control de pantalla táctil y PC remoto conmutable, Puerto RS485 y un software suministrado se incluyen para la operación remota por PC, no es compatible con LabVIEW por ahora.

• Un tanque de mezcla de gas de acero inoxidable está incorporado
• Tubería interna: 1/4" O.D acero inoxidable
• Tubería externa: 1/4" O.D PTFE
• Tanque de mezcla de gas: ?80X120mm
• Válvula de cierre y accesorios
• Válvula de aguja de acero inoxidable 316,
• ?1/4" Swagelok Racor para tubo

• Dimensiones: 360 mm L x 300 mm D x 190 mm H
• Peso: 8,4 kg

• Todos los componentes tienen certificación CE
• La certificación NRTL (UL61010) o CSA está disponible con un coste adicional. Haga clic en las marcas siguientes para obtener más información )

• Se puede utilizar un sensor de oxígeno opcional para controlar el nivel de oxígeno de los gases utilizados en los sistemas CVD para evitar o reducir la oxidación. Haga clic en la imagen de la izquierda para obtener más información: