Controlador de caudal másico computerizado (máx. 1000 SCCM) - EQ-MFC-COM
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Controlador de caudal másico computerizado (máx. 1000 SCCM) - EQ-MFC-COM
MTI
- Este producto no tiene pantalla, debe ser controlado por el ordenador utilizando el software del fabricante.
- Controlador digital de caudal másico para sistemas de control de gas
- Rentable, Alta precisión y respuesta rápida, Multi-gas, Auto-cero, Interfaces compatibles.
- Utilizado para controlar y medir con precisión el caudal de gas de alta presión.
- Ideal para CVD y otras aplicaciones de mezcla de gases.
- Internacional estándar internacional DB15 estándar internacional; se conecta a los hornos MTI con MTI con racor Swagelok1/4.
Rango de escala completa (N2) | ( 0100,200,500,1000)SCCM Se pueden personalizar otros rangos con un coste adicional, envíe un correo electrónico a info@mtixtl.com |
Precisión | ±1,0% P.S. (?35% F.S.) |
±0,35% F.S.(35% F.S.) | |
Repetibilidad | ±0,2% FS |
Linealidad | ±0,5% FS |
Tiempo de respuesta | 1seg |
| >Posición de reposo de la válvula | Normalmente Cerrada o Normalmente Abierta |
Coeficiente de temperatura | Cero: ±0,05% F.S./ Span: ?±0.1% F.S.?30 SLM Span: ?±0.2% F.S.30 SLM |
Desviación del cero | 0,6% F.S. por año sin autocero |
Acabado superficial (Ra) | 25Ra |
Temperatura de funcionamiento | 545 |
Interfaz de comunicación para la señal de entrada | Digital RS485 DeviceNetTM Analógica:(05)VCC o (420)mA |
Interfaz de comunicación para señal de salida | Digital: RS485 DeviceNetTM Analógica:(05)VCC o (420)mA |
Alimentación Suministro | ±11 ~ ±16 VCC o +11 ~ +28 VCC(400mA) |
Conector electrónico | D-sub 9 pines macho, D-sub 15 pines macho, DeviceNetTM macho |
Presión diferencial | (0,050,35) Mpa?10000SCCM (0.10.35) Mpa20000SCCM,30000SCCM (0.20.45) Mpa50000SCCM |
Presión máxima | 3MPa |
Integridad de las fugas | 1×10-9 atm-cc / seg He1×10-10 Pa-m3 / seg He |
Materiales de las juntas | Vitón; Neopreno |
Química de la superficie (sólo EP) | -- |
Racores | Swagelok1/4" |
Peso | 1kg |
