MTI  |  SKU: GSLALD4

Unidad de control ALD de 2 canales con sistema de suministro de gas MFC de 4 canales - EQ-ALD-GSL-4

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Unidad de control ALD de 2 canales con sistema de suministro de gas MFC de 4 canales - EQ-ALD-GSL-4

MTI

EQ-ALD-GSL-4 es una unidad de suministro de precursores ALD de precisión de dos canales con un sistema de mezcla y suministro de gas MFC de cuatro canales, que está diseñada para el bricolaje de un sistema de recubrimiento ALD con cualquier horno o cámara para el crecimiento de películas finas y el recubrimiento de superficies con polvo. La pantalla táctil LCD permite controlar fácilmente el tiempo de impulso ALD y el flujo de gas para cada canal.

ESPECIFICACIONES

Tensión de trabajo

 AC 220V Monofásico 50/60Hz

Potencia

 100 W

Pantalla táctil PLC

  • Todos los parámetros de tiempo de pulso de vapor ALD y flujo de gas son controlados por PLC a través de un panel de pantalla táctil de 6" en un carro móvil
    • Control de dos válvulas ALD con tiempo de duración del pulso y ciclos con precisión de microsegundos
    • Control de los canales de suministro de gas con ±0,2% F.S a través de MFC
    • Visualización de la presión de vacío
    • Otros parámetros a petición del cliente
    • Haga clic en la imagen de la izquierda para ver la interfaz de control
  • El puerto RS485 y el software suministrado están incluidos para la operación remota por PC.

Válvulas ALD
  • Se incluyen dos válvulas ALD para suministrar gas de secado o vapor líquido-vapor precursor vapor.
  • El número de canales ALD puede personalizarse previa solicitud.
  • Frecuencia máx. de conexión/desconexión: 283 HZ
  • Mín. Tiempo de impulso: 10 ms


Controlador de caudal másico
  • Se incluyen cuatro MFC para suministrar 4 tipos de gases de transporte de forma independiente o por mezcla
    • Rango de control:
    • Controlador 1: 0~100 SCCM
    • Controlador 2: 1~199 SCCM
    • Controlador 3: 1~199 SCCM
    • Controlador 4: 1~499 SCCM
    • Nota: Otro rango MFC se puede personalizar con un coste adicional bajo petición. ]
  • Temperatura de trabajo: 5~45 ºC
  • Presión Máx. Presión: 3x106Pa
  • Precisión: ±1,5% FS
  • Liner: ±0,5-1,5%F.S.
  • Precisión de duplicado: ±0,2%F.S.
Gasoducto
  • Un tanque de mezcla de gas de acero inoxidable incorporado
  • Tubería interna: 1/4" O.D acero inoxidable
  • Tubería externa: 1/4" O.D PTFE
Tanque de mezcla de gas ?80X120mm

Válvula de cierre y accesorios
  • Se incluyen 4 válvulas de aguja de acero inoxidable 316
  • Racor Swagelok de 1/4
Dimensiones 600 mm (largo) x 745 mm (ancho) x 700 mm (alto)
Conformidad
  • Todos los componentes tienen certificación CE
  • La unidad puede pasar la certificación TUV(UL61010) o CSA con coste adicional.
Garantía
 Un año de garantía limitada de por vida
Opcional
  • Puede considerar pedir un sistema de burbujeo o de suministro de vapor haciendo clic en la imagen de abajo
  • Podemos ayudarle a conectar la unidad de control ALD con el horno tubular MTI con un coste adicional
Instrucciones de uso
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