Horno tubular de 1100°C con sublimador de precursores sólidos para capas CVD 2D de TMDs - OTF-1200X-4-NW-UL

OTF-1200X-4-NW-UL es un horno tubular CVD compacto de 1100°C con un accesorio de sublimación de precursores. En la sublimación se han incorporado entradas de gas de cuatro canales que permiten la alimentación de varios gases para transportar el vapor fuente al calentador principal para su posterior descomposición y deposición. El accesorio portamuestras montado en la brida derecha es deslizable para facilitar la carga/descarga de muestras. Esta configuración del sistema es adecuada para el crecimiento de una amplia gama de dicalcogenuros de metales de transición (TMD )como MoSe2, MoS2... y semiconductores de banda prohibida ancha (como h-BN) en capas sobre sustratos de hasta 3" de diámetro.

Especificaciones

Horno y precalentador Pic. 1 Foto. 2	Sistema de horno CVD compacto con: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 29.13" Length quartz tube ( OD 110 xID 103 x L 740, mm ) 1100ºC Temperatura máxima de trabajo con una precisión de +/- 1oC La brida de refrigeración por agua del lado derecho es deslizable para facilitar la carga de la muestra La brida de refrigeración por agua del lado izquierdo entre la resistencia y el horno se utiliza para la entrada de gas precalentado y el sellado La entrada de gas de cuatro canales (tubo de 1/8" de diámetro y racor para tubo) está incorporada en la brida del lado izquierdo Un pequeño calentador está unido a la brida lateral izquierda del horno para precalentar el gas de entrada, el líquido o evaporar el producto químico sólido, que luego será entregado al horno CVD: Por favor, haga clic en la imagen de la izquierda para más detalles: Tubo de acero inoxidable de 1,2'' de diámetro exterior x 6'' de longitud como cámara de calentamiento Tubo de cuarzo pequeño de 1" de diámetro interior sellado al vacío dentro del calentador ( Foto 2) 400ºC Temperatura máxima de trabajo ( 1000ºC calentador está disponible bajo petición ) La brida en el lado izquierdo es para el sellado de gas y de entrada
Tensión nominal	Monofásico, 208-240 VAC, 50/60 Hz, AWG 8# Cable de alimentación incluido (sin enchufe)
Consumo eléctrico	Máx. 3600 W (requiere disyuntor de 20 A)
Zona de calentamiento	Horno CVD: 440 mm Zona de temperatura constante: 100 mm Calentador de gas: 150 mm
Temperatura de trabajo	Horno CVD: Temperatura máxima de calentamiento: 1100°C ( < 2 hora ) Temperatura de trabajo continuo: 200~1000°C Velocidad máxima de calentamiento y enfriamiento: 20°C/min Calentador: Temperatura de trabajo continuo: RT~600°C Velocidad máxima de calentamiento y enfriamiento: 20°C/min
Control de temperatura	Horno CVD y calentador (control de temperatura independiente): Controladores digitales con funciones PID/autoajuste y 30 segmentos programables Termopar: Termopares tipo K, en la brida derecha a través de feedthrough para controlar la temperatura del horno. Precisión de control: +/- 1°C Puerto de comunicaciones RS485
Vacío y sellado de gas y brida	La brida derecha del horno CVD Bridas de refrigeración por agua para evitar que la junta tórica de sellado se derrita ( por favor haga clic en enfriador de agua para pedir) Puerto de vacío KF25 a una bomba, por favor haga clic para pedir una bomba, manguera de vacío, válvula y junta de sellado) Deslizable para que el cliente pueda introducir/extraer una muestra fácil y rápidamente Se incluye un soporte para obleas de cuarzo ( 3" Dia. ) y la brida con bloque de radiación de calentamiento Se incluye unmedidor de diafragma de capacitancia anticorrosivo Brida izquierda (entre el horno CVD y el calentador) con cuatro racores Swagelok de 1/8'' para tubo de 1/8'': Dos racores de 1/8'' en la brida para introducir de forma independiente y directa cualquier gas en el horno CVD Un racor de 1/8'' para enviar gas calentado desde el calentador al horno de CVD Un racor de 1/4'' para derivar el gas (sin calentar) al horno CVD (dentro del horno CVD, el tubo de gas se une con el tubo de gas calentado mediante un racor en T) Nota: Cómo se ensambla el tubo de gas en el horno CVD a través del racor anterior de 1/8'': Un tubo de cuarzo de 1/4'' suministra el gas de vapor desde el calentador (también el gas de bypass mediante un racor en T) Dos tubos de cuarzo de 1/4'' suministran gas adicional a través de dos conexiones separadas de 1/8'' en el horno grande, a la izquierda de la brida. Estos tres tubos de cuarzo de 1/4'' dentro del horno CVD están en paralelo y verticalmente 1'' más altos que el portamuestras Estos tres tubos de cuarzo de 1/4'' se pueden desmontar fácilmente para limpiarlos o sustituirlos si se atascan o corroen. Calentador: Brida izquierda: un racor de gas de 1/8'' para suministrar gas al calentador para el precalentamiento y después al horno CVD A la derecha del horno CVD con el material de bloqueo térmico necesario para minimizar el gradiente de temperatura en la interfaz entre el calentador y el horno CVD Instalación de la cámara del horno Se instala un adaptador de tubo de 2 1/4'' en cada brida
El dispositivo opcional de Inyección de Líquido opcional)	Para CVD líquido directo ( DLCVD), puede considerar los siguientes dispositivos para la inyección de líquido: ( haga clic en Pic para pedir )
Peso neto	110 kg
Dimensiones	Estándar: 62 "L X 18 "W X 23 "H Máximo: 80 "L X 18 "W X 32 "H (Tapa abierta y reborde derecho deslizable)
Peso y dimensiones de envío	380 libras 48 "x40 "x54" pulgadas
Garantía	Garantía limitada de un año para las piezas eléctricas. ( Las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y etc no están cubiertas por la garantía) Puede pedir un tubo de cuarzo de repuesto aquí: EQ-QZTube-SF
Ordenador portátil, software y control WiFi (Opcional)	Ordenador portátil nuevo con Microsoft Windows 10 Sistema de control de temperatura basado en Labview(EQ-MTS01) permite al usuario editar perfiles de temperatura, gestionar recetas de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos MTI. Un control remoto inalámbrico proporciona hasta 50 metros de alcance operativo en un área abierta. El controlador de temperatura Eurotherm con software está disponible bajo pedido con un coste adicional, que puede proporcionar una precisión de +/- 0,1oC. ( ver barra de opciones del producto)
Conformidad	Certificado CE Las certificaciones NRTL(UL61010) o CSA están disponibles con un coste adicional.
Advertencia Haga clic aquí para obtener información sobre la instalación de un regulador de gas	Los hornos tubulares con tubos de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión <0,2 bares (relativa a 1 atm, presión absoluta = 1,2 bares si se utiliza en aire) Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro. Haga clic aquí para obtener información sobre la instalación de un regulador de gas. Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C
Vídeo de demostración del funcionamiento