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MTI  |  SKU: OTF-1200X-II-50-PEMSL

Horno tubular PECVD de dos zonas y 1200C máx. (50 mm de diámetro exterior) con precalentador y deslizamiento automático - OTF-1200X-II-50-PEMSL

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Horno tubular PECVD de dos zonas y 1200C máx. (50 mm de diámetro exterior) con precalentador y deslizamiento automático - OTF-1200X-II-50-PEMSL

MTI

OTF-1200X-II-50-PEMSL es un sistema de horno tubular PE-CVD de doble zona que consta de una fuente de plasma RF de 300 W, un mecanismo deslizante de velocidad controlada, un precalentador para sublimar el material sólido y una bomba de vacío sin aceite de alta calidad. Este horno PE-CVD es una nueva herramienta para el crecimiento de nanohilos y para el recubrimiento CVD de una amplia gama de materiales con las siguientesventajas:
  • Menor temperatura de procesamiento en comparación con el CVD convencional
  • Alta velocidad de calentamiento y enfriamiento mediante un horno deslizante
  • Doble zona de calentamiento para crear un gradiente térmico de hasta 500ºC
  • 1100ºC Máx. la temperatura de trabajo en el horno tubular
  • 1100ºC Máx. la temperatura de trabajo en el precalentador para calentar la fase vapor o evaporar materiales sólidos
  • Enfriamiento y calentamiento rápidos para el cultivo de materiales 2D
ESPECIFICACIONES:
Horno de tubo dividido de doble zona

  • Máximo 1100ºCpara calentamiento continuo
  • Dos controladores digitales de temperatura de precisión programables con 30 segmentos.
  • Dos zonas de calentamiento controladas por separado
    • 200 mm de longitud para cada zona de calefacción
    • 400 mm de longitud total de calefacción
    • 250mm de superficie de calefacción a temperatura central constante si ambas zonas se calentaran a la misma temperatura
    • 500ºC de diferencia de temperatura máxima entre dos zonas con bloques térmicos entre ellas
  • Potencia de entrada: 208 - 240V AC de entrada, una sola fase a máx. 4KW

Fuente de alimentación de plasma RF
  • Potencia de salida: 5 -300W ajustable con ± 1% de estabilidad.
  • Frecuencia RF: 13,56 MHz con ±0,005% de estabilidad.
  • Potencia de reflexión: 200 W máx.
  • Adaptación: Automática
  • Puerto de salida RF: 50 ?, tipo N, hembra
  • Ruido: <50 dB.
  • Refrigeración: Refrigeración por aire.
  • Alimentación: 208-240 VCA, monofásica, 50/60 Hz.
Horno de precalentamiento
  • Horno tubular pequeño con zona de calentamiento individual de 200 mm de longitud
  • Temperatura máx: 1100ºC
  • Control de temperatura programable en 30 segmentos
  • El vapor pasa primero por el calentador antes de entrar en el generador de plasma RF.
  • Puede introducir material sólido en el calentador para que se evapore y se mezcle con la fase de vapor.
  • Tubo de cuarzo: 50mm OD x 44mm ID x 2200 mm L ( tubo de 80mm OD está disponible a coste adicional
  • Brida de vacío: incluida
  • Quartz Tubes
Manómetro anticorrosivo
  • Rango de medición de 3,8x10-5 a 1125 Torr
  • Anticorrosivo, independiente del tipo de gas
  • Alta precisión y reproducibilidad en la atmósfera para una detección fiable de la presión atmosférica
  • La rápida detección atmosférica elimina el tiempo de espera y acorta el ciclo del proceso
  • Elemento sensor plug & play fácil de cambiar
  • Haga clic en la imagen para ver las especificaciones detalladas.
Estación de bomba de vacío y válvulas
  • Bomba mecánica de doble etapa para servicio pesado de 240 L/m se instala dentro del carro móvil de alta resistencia
  • El adaptador KF25 y la tubería de acero inoxidable se conectan entre la bomba y la brida del tubo con una válvula de bola de precisión para que el cliente pueda conectar y listo
  • Se puede lograrun vacíode 10E-2 Torr dentro del tubo de procesamiento

Mecanismo de deslizamiento
  • Riel deslizante y tornillos incorporados en el horno inferior, que pueden moverse de un lado a otro según un programa para lograr un calentamiento o enfriamiento más rápidos.
  • Velocidad de deslizamiento ajustable de 0-70 mm/s

Velocidades de calentamiento y enfriamiento
  • El puerto RS485 y el software están instalados y permiten controlar a distancia el perfil de temperatura mediante un PC (no incluido, el cliente puede pedir uno aquí)
  • Para alcanzar la velocidad máxima de calentamiento, el usuario debe precalentar el horno a la temperatura deseada y, a continuación, deslizar el horno hasta la zona de muestra del tubo.
  • Para alcanzar la velocidad máxima de enfriamiento, empuje el horno calentado desde la zona caliente a la zona fría.
Velocidad de calentamiento:
15°C/seg (RT - 150°C);
10°C/seg (150°C - 250°C);
7°C/seg (250°C - 350°C);
4°C/seg (350°C - 500°C);
3°C/seg (350°C - 550°C);
2°C/seg (550°C - 650°C);
1°C/seg (650°C - 800°C);
0,5°C/seg (800°C - 1000°C);
Velocidad de enfriamiento:
15°C/seg (1000 - 950°C);
10°C/seg (950°C - 900°C);
7°C/seg (900°C - 850°C);
4°C/seg (850°C - 750°C);
2°C/seg (750°C - 600°C);
1,5°C/seg (600°C - 500°C);
1°C/seg (500°C - 400°C);
0,5°C/seg (400°C - 300°C);




Opcional
  • Hay disponibles como opción de dos a cuatro caudalímetros másicos de precisión (0,02% de exactitud) con pantalla digital, que pueden sustituir a la caja inferior para controlar el caudal de gas automáticamente con el sistema. Haga clic en la imagen inferior para elegir uno que se ajuste a su presupuesto.
  • Haga clic en la imagen de abajo - izquierda para pedir un burbujeador o evaporador para CVD, y abajo a la derecha para el Módulo de control de temperatura constante

Dimensiones generales
  • Horno: 550 x 380 x 520 mm
  • Carril de deslizamiento: doble carril con 1750 mm de longitud
  • Dos contiguos Fondo Móvil Cajas: 1200 x 1200 x 1200mm.
  • Peso neto: 220 Lbs.
  • Peso del envío: 1200lbs.
Garantía
Garantía limitada de un año con asistencia de por vida (las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertos por la garantía, pida repuestos en los productos relacionados a continuación).
Ordenador portátil y software (opcional)
  • Ordenador portátil nuevo con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita) para uso inmediato.
  • Sistema de control de temperatura basado en Labview(EQ-MTS01) permite al usuario editar perfiles de temperatura, gestionar recetas de tratamiento térmico y registrar y trazar datos para hornos MTI.
>Conformidad
  • Certificado CE
  • La certificación NRTL (UL61010) o CSA está disponible previa solicitud con coste adicional.
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