MTI  |  SKU: OTF-1200X-III-HPCVD-S3

Horno tubular HPCVD de 1200C y tres zonas de 5 "D con sistema de alimentación de fuente secuencial y de co-deposición de hasta 3 crisoles - OTF-1200X-III-HPCVD-S3

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Horno tubular HPCVD de 1200C y tres zonas de 5 "D con sistema de alimentación de fuente secuencial y de co-deposición de hasta 3 crisoles - OTF-1200X-III-HPCVD-S3

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OTF-1200X-III-HPCVD-S3 es un sistema de deposición híbrido PVD y CVD ( HPCVD) para la preparación de materiales 2D multicapa. El sistema consta de un horno de tubo dividido en tres zonas con el exclusivo Sistema de alimentación de la fuente que puede introducir el crisol en un tubo de procesamiento a la temperatura de evaporación deseada. El horno de tubo dividido en tres zonas puede lograr un calentamiento rápido de hasta 1.200 °C y crear un gradiente térmico diferente estableciendo distintas temperaturas para cada zona. El sistema de alimentación de la fuente puede empujar y extraer uno o tres crisoles con material de evaporación a través del horno tubular de 5" D controlado por atmósfera y procesar secuencialmente hasta 3 crisoles (o coevaporar 3 a la vez) según se programe. Se trata de una solución ideal para realizar experimentos HPCVD, especialmente para preparar materiales cristalinos 2D multicapa. Su pantalla táctil PLC incorporada permite a los usuarios gestionar el método de alimentación y supervisar la temperatura de cada fuente. Tres controladores de temperatura PID programables proporcionan un excelente control sin exceso de temperatura.

ESPECIFICACIONES:
Estructura del horno
  • Dispone de un sistema único de alimentación de fuente de triple canal que impulsa 1 o 3 crisoles con material de evaporación a través del tubo de vacío o atmósfera controlada, adecuado para CVD físico híbrido-crecimiento de pilas de película multicapa según lo programado.
  • Tres controladores de temperatura independientes para controlar la temperatura de cada zona.
  • La carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire mantiene la temperatura de la superficie del horno por debajo de 60°C.
  • Aislamiento de alúmina fibrosa de alta pureza para un máximo ahorro de energía.
  • El El revestimiento refractario especial de la camisa y la resistencia contribuye a aumentar la vida útil del horno.
  • Tapa dividida con protección Interlock, corta la corriente si la puerta se abre durante el proceso de calentamiento del horno.
Requisitos de alimentación
  • Monofásico 208~240VAC, 50/60Hz, 10KW (se requiere disyuntor de 70Amp)
Longitud de la zona de calefacción
  • Tres zonas: la longitud de cada zona es de 11.8" (300 mm)
Rango de temperatura 100~1100°C (continua); 1200°C (<1 hora)
Máx.Velocidad de calentamiento ? 10°C /min
Controladores de temperatura
  • Tres controladores digitales con 30 segmentos programables para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia. fFuncionamiento sin operario(s).
  • Precisión de temperatura de +/- 1ºC.
  • Dos termopares tipo K (uno para cada zona).
  • Puerto de comunicaciones RS485.
  • Opcional:
    • El horno puede ser operado por PC con un paquete de software de control de temperatura MTS02-Y (incluye 2 chips de comunicación y un portátil de 15").
    • Los controladores Eurotherm 3000 están disponibles con una precisión de +/- 0,1ºC con un coste adicional.
Sistema de alimentación de fuente secuencial
  • Tres termopares están conectados a los tres tubos pequeños de cuarzo de la brida izquierda. El motor paso a paso acciona el tubo para que se desplace por el tubo grande junto con el termopar para controlar la temperatura en tiempo real.
  • Se pueden colocar simultáneamente trescrisoles en el sistema de alimentación de la fuente y enviar de 1 a 3 crisoles a las zonas calientes para su evaporación y deposición en una atmósfera controlada.
  • Cada canal de alimentación tiene entrada de gas y control de flujo independientes.
  • Dimensión del crisol fuente: 18mm x 18mm
  • Pic.1 Pic..2
Control del movimiento del crisol de muestras
  • La velocidad y la distancia de movimiento del crisol se controlan mediante un volante.
  • Distancia de desplazamiento del crisol: 300 mm.
  • Dimensión del crisol: 80mm x 32mm x 13mm (pic.1)
  • Dimensión del deflector del crisol deslizable: 20mm x 20mm (gif.1)
  • Tamaño de muestra recomendado: 20 mm x 20 mm
  • pic.1 pic.2 Foto 3
Controladores de temperatura
  • 3 controladores digitales Eurotherm homologados por UL con una precisión de ±1°C para el control de la temperatura de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia.
Elemento calefactor Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo
Accesorios para tubos
  • Un tubo de cuarzo fundido tubo de cuarzo fundido (130 mm de diámetro exterior x 122 mm de diámetro interior x 1200mm L).
  • Tres tubos de cuarzo fundido (25 mm de diámetro exterior x 21 mm de diámetro interior x1200 mmde longitud).
Bomba de vacío
Sistema de control de flujo de gas
Dimensiones

 4000 mm (largo) x 600 mm (ancho) x 1500 mm (alto)
Garantía Garantía limitada de un año con asistencia de por vida. (Las piezas consumibles, como tubos de procesamiento o juntas tóricas, no están cubiertas por la garantía; encontrará las piezas de repuesto en los productos relacionados a continuación).
Conformidad
  • Certificado CE
  • Certificación NRTL o CSA disponible con coste adicional.
Vídeo de la operación

 Vídeo de instalación

Funcionamiento del horno Vídeo de funcionamiento del controlador Cómo crear un gradiente de temperatura

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