MTI  |  SKU: OTF1200XPELV5

Horno de tubo partido PECVD de 5" (1200C máx.) con estación de bomba de vacío - OTF-1200X-5L-PE

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Horno de tubo partido PECVD de 5" (1200C máx.) con estación de bomba de vacío - OTF-1200X-5L-PE

MTI

OTF-1200X-5L-PE es un horno tubular PE-CVD(deposición química en fase vapor mejorada por plasma) sistema de horno tubularque consta de una fuente de plasma RF de 300W, un horno tubular de cuarzo de 130ODx122ID, mm y una bomba de vacío de alta calidad con trampa de frío. El horno PE-CVD es una herramienta ideal y asequible para depositar películas finas o cultivar nanohilos a partir de un estado gaseoso (vapor) de hasta 4" de oblea.
(el número de artículo se ha actualizado de OTF-1200X-5L-I-PE desde marzo de 2019)

Especificaciones

Horno de tubo dividido de zona única de 1200°C
  • Máx. 1200ºC, y para calentamiento continuo 1100ºC
  • Controladores de temperatura digitales de precisión programables con 30 segmentos.
  • Zonas de calentamiento: 880 mm - Tamaño del tubo de cuarzo: 130 ODx122 IDx2000L mm
  • Potencia de entrada: 208 - 240V AC entrada, monofásica a max. 7KW.
  • Se incluyen bridas selladas al vacío para su uso inmediato.
  • Opcional: horno de tres zonas con 24 "zona de calentamiento puede ser sustituido a un costo adicional ( haga clic en Pic 2 para revisar las especificaciones )
Plasma RF Power Supply

  • Potencia de salida: 5 -300W ajustable con ± 1% de estabilidad
  • Frecuencia RF: 13,56 MHz ±0,005% de estabilidad
  • Potencia de reflexión: 200 W máx.
  • Adaptación: Automática
  • Puerto de salida RF: 50 ?, tipo N, hembra
  • Ruido: <50 dB.
  • Refrigeración: Refrigeración por aire.
  • Alimentación: 208-240VAC, 50/60Hz
  • Nota: Esta fuente de alimentación de RF puede aceptar tubo de cuarzo de 50 - 80 mm máx. cambiando la brida
Tubo de prensado
  • Tubo de cuarzo: 130 ODx122 IDx2000L mm (5 "x 79"). incluido. Haga clic en Pic 1 para pedir repuesto
  • Se incluye una brida de vacío de acero inoxidable de 5" con válvula y puerto de vacío K25V
  • Un manómetro anticorrosivo está instalado en la brida
    • 3.8x10-5 a 1125 Torr
    • Anticorrosivo, independiente del tipo de gas
    • Alta precisión y reproducibilidad en atmósfera para una detección fiable de la presión atmosférica
    • La rápida detección atmosférica elimina el tiempo de espera y acorta el ciclo del proceso
    • Suministramos baterías de 24V 7Ah como fuente de alimentación para el manómetro, que es suficiente para 30-40 horas de duración de la batería por carga.
Bomba y válvula de vacío
  • La bomba EQ-FYP se instala dentro del carro móvil de alta resistencia.
  • Un Trampa de Frío para Recuperar Condensables se incluye
  • El adaptador KF25 y la tubería de acero inoxidable están conectados entre la bomba y la brida del tubo con una válvula de bola de precisión para que el usuario pueda enchufarla y utilizarla inmediatamente.
  • Se puede alcanzar un vacío de 10E-2 Torr dentro del tubo de procesado
Controlador de temperatura
  • 30 segmentos programables con certificación MET para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia.
  • Función PID Auto-Tune integrada con protección contra sobrecalentamiento y termopar roto.
  • Protección y alarma de sobretemperatura permite el funcionamiento sin operario(s).
  • Precisión de temperatura de +/- 1 ºC.
  • Puerto de comunicaciones RS485.
    • Control avanzado de temperatura (Opcional)
    • Kit de software de control de temperatura MTS02-Y (para controladores de la serie YD518P) + paquete de ordenador portátil de 15" disponible en la barra de opciones. Haga clic para obtener información detallada sobre el kit de software MTS02-Y.
    • Puede actualizar el controlador de temperatura al controlador de temperatura Eurotherm 3504, que es totalmente compatible con LabVIEW. Este paquete incluye un programador Eurotherm 3504, un cable de comunicación (RS485 - USB) y un CD de software. Haga clic en la imagen de abajo para ver las especificaciones completas del controlador de temperatura Eurotherm 3504.


Opcionales
Dimensiones
  • Horno: 1100 X 450 x 670 mm
  • Peso neto: 220 lbs
  • Peso de envío: 350 lbs
Garantía
Un año de garantía limitada con soporte de tiempo de elevación (piezas consumibles tales como tubos de procesamiento, juntas tóricas, y los elementos de calefacción no están cubiertos por la garantía, por favor pida el reemplazo en los productos relacionados a continuación).
Ordenador portátil, software y control WiFi (opcional)
  • Ordenador portátil nuevo con Microsoft Window 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita) para uso inmediato.
  • Sistema de control de temperatura basado en Labview(EQ-MTS01) permite al usuario editar el perfil de temperatura, gestionar la receta de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos MTI.
  • Un control remoto inalámbrico proporciona hasta 300 metros de alcance operativo.
  • Las funciones anteriores están disponibles bajo pedido con un coste adicional (hasta 1.000 $). Póngase en contacto con nosotros para obtener más información.

  • Nota:
    El software sólo es compatible con MTI Yudian Temperatura Controlador


Conformidad
  • Certificado CE
  • Todos los componentes eléctricos ( >24V) tienen certificación UL / MET / CSA, sin incluir el sistema de mezcla de gases, el sistema de vacío y el generador de plasma.
  • El horno está listo para pasar TUV(UL61010) o la certificación CSA a un costo adicional. por favor haga clic en las marcas de abajo para conocer los detalles )
Instrucciones de funcionamiento
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