MTI  |  SKU: GSL1100XIIID11

Horno CVD de doble tubo (11"/10") (1200°C máx.) para crecimiento de grafeno de gran superficie -GSL-1100X-III-D11

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Horno CVD de doble tubo (11"/10") (1200°C máx.) para crecimiento de grafeno de gran superficie -GSL-1100X-III-D11

MTI

GSL-1100X-III-D11 es un horno de doble tubo de tres zonas con una temperatura máxima de trabajo de 1200°C. El diseño de doble tubo permite el crecimiento de películas CVD de gran superficie (~7000 cm^2) sobre la lámina metálica envuelta en la superficie del tubo interior. El extractor del tubo permite al operador retirar fácilmente el tubo interior sin dañar los productos de la película y estar listo para el siguiente paso de transferencia de la película. Es una herramienta ideal para producir láminas de grafeno o electrodos flexibles de dispositivos de almacenamiento de energía.
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ESPECIFICACIONES:
Características

  • Diseño de tubo de cuarzo doble: tubo exterior de 280 mm (11") de diámetro con tubo interior de 254 mm (10") de diámetro. La lámina metálica puede envolverse en la superficie del tubo interior para el crecimiento de la película CVD.
  • Un extractor de tubo de accionamiento manual permite retirar fácilmente el tubo interior y dejarlo listo para la posterior transferencia de la película.
  • La zona de calentamiento constante de 36'' de longitud proporciona una superficie tubular de 7000cm^2 para el crecimiento CVD de grafeno en grandes áreas sobre sustratos metálicos.
Zonas de calentamiento y Temp. Control

  • Tres zonas de calentamiento: (1230mm, 48" L en total)
    • Zona 1: 410mm (16")
    • Zona 2: 410mm (16")
    • Zona 3 410 mm (16")
  • Zona de calentamiento constante: Máx. 36" de longitud con una precisión de +/- 5°C si se ajustan tres zonas a la misma temperatura.
  • Controlador de temperatura PID con 30 segmentos programables y precisión de +/- 1° C. Protección integrada contra sobretemperatura y fallo del TC.
  • Termopares tipo K de alta calidad de Omega.
Temperatura de trabajo
  • Máx. Temperatura de trabajo: 1200°C < 1 hora
  • Temperatura de trabajo continuo: 1100°C
Velocidad de calentamiento
  • Máx. 10°C /min (RT~800°C)
  • Máx. 5°C /min (800~1100°C)
Alimentación
  • AC 220VAC Trifásica, 50/60 Hz
  • 24 KW Máx.
  • Se incluye cable de alimentación sin enchufe
Tubos de procesamiento Se incluyen dos tubos de cuarzo fundido de gran pureza:
  • Tubo exterior 280 mm D.E. x 270 mm D.I. x 2070 mm L
  • Tubo interior: 254 mm D.E. x 244 mm D.I. x 2310 mm L
Bridas selladas al vacío

  • Un par de bridas SS304 sellan herméticamente los tubos dobles de la carcasa mediante un juego de juntas tóricas de silicona de alta temperatura (haga clic en la imagen de la izquierda para obtener más detalles).
    • El puerto KF25 con válvula de aguja está montado en la brida derecha para la conexión de la bomba de vacío y el alivio de presión manual
    • La brida derecha se puede acoplar al extractor de tubos
    • Racor de compresión de tubo de 1/4'' en la brida izquierda para la alimentación de gas
    • Manómetro mecánico en la brida izquierda para controlar la presión del tubo
    • Los termobloques fijados a las bridas establecen una barrera térmica para la zona de calentamiento constante
  • Compatibilidad con el vacío: 10^-2 torr por la bomba mecánica10^-4 torr por la bomba turbo molecular. Por favor, haga clic en subrayado para pedir bombas de vacío de MTI Corp.
Extractorde tubos

El extractor de tubos de accionamiento manual puede acoplarse a la brida derecha para recuperar el tubo interior de 10'' de diámetro con productos de film al finalizar el proceso. La imagen de la izquierda ilustra el procedimiento de funcionamiento.
Dimensiones del horno
5400L x 770W x 1500H mm ( Incluido el extractor de tubos )
Peso neto ~600 kg
Peso y dimensiones de envío 1) 1500 lbs, 97 "x39 "x74"
2) 1800 lbs, 123 "x39 "x80"
Garantía Garantía limitada de un año para las piezas eléctricas. (Las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertos por la garantía)
Conformidad
  • Certificado CE
  • Todos los componentes eléctricos ( >24V) tienen certificación UL / MET / CSA
  • La certificación NRTL(UL61010) o CSA está disponible con un coste adicional.
Vídeo de funcionamiento


Advertencias


  • Todos los hornos tubulares de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bares / 3 psi
  • Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro. Haga clic aquí para conocer la instalación de un regulador de gas.
  • Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C
  • Para el uso de gases inflamables como H2 y CH4, consulte las medidas de seguridad con el equipo técnico de MTI. Sugerimos encarecidamente que el horno funcione dentro de una campana extractora con detector de fugas de H2/CH4 instalado.
Accesorios opcionales

  • Lámina de cobre para el crecimiento de grafeno (150mm de ancho x 25um de espesor), por favor haga clic en pic.1 para más detalles.
  • Después del CVD, el grafeno debe transferirse del catalizador metálico a otro sustrato para la mayoría de las aplicaciones. Para más detalles, haga clic en la imagen 2.
  • Foto 1 Imagen 2