Horno tubular de dos zonas de calentamiento
| - Dos zonas de calentamiento con una zona de calentamiento de 440 mm de longitud y una zona de templado constante de 250 mm de longitud
- 1200oCTemperatura máxima de trabajo durante < 60 minutos
- 1100oCMáx. para calentamiento continuo
- Controlador de temperatura digital de precisión programable de 30 segmentos con una precisión de +/1ºC
- (Eurotherm 3000 Controlador de temperatura opcional para una precisión de +/- 0,1ºC )
- Tubo de cuarzo de alta pureza 80mm OD x 72mm ID x 1400 mm Longitud 2.83 "ID x 55'' Longitud
- Tubo opcional de 100 mm de diámetro exterior x 94 mm de diámetro interior
- Potencia de entrada: 208 - 240V AC de entrada, una sola fase a max. 3KW
- Horno de tres zonas de calentamiento disponible como opción
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Fuente de alimentación de plasma RF
  | - Potencia de salida: 5 - 300W ajustable con ± 1% de estabilidad
- Frecuencia RF: 13,56 MHz con ±0,005% de estabilidad
- Adaptación: automática
- Puerto de salida RF: 50 ?, tipo N, hembra
- Ruido: <50 dB.
- Refrigeración: Refrigeración por aire
- Alimentación: 208-240VAC, 50/60Hz, monofásica
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Cámaras de vacío R2R
| - Dos cámaras de vacío están situadas en dos extremos del horno y conectadas con el tubo de cuarzo
- Los rodillos de enrollado para la entrada y salida de un sustrato se encuentran dentro de la cámara de vacío.
- La velocidad de enrollado del sustrato puede ajustarse entre 1 y 400 mm/min.
- El mecanismo de control de tensión de precisión está incorporado de forma 0 - 1000g)
- Máx. sustrato móvil 65 mm de ancho para tubo de 80 mm de diámetro exterior
- Se incluye un rollo de lámina de cobre de 65 mm de ancho y 0,025 mm de grosor (~5 kg) para la práctica del cliente
- Tubo de 100 mm de diámetro exterior disponible bajo pedido, que puede alimentar sustrato con una anchura máxima de 80 mm
- Mecanismo de rollo a rollo con regulador de velocidad y brida sellada sin horno disponibles bajo pedido.
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Estación de suministro de gas de tres canales
| - Temp. de trabajo: 5~45 ºC
- Presión Máx. Presión: 3x106Pa
- Precisión: ±1,5% FS
- Liner: ±0,5-1,5%F.S.
- Precisión de duplicado: ±0,2%F.S.
- Rango de control:
- Controlador 1: 0~100 SCCM (calibración de gas Ar)
- Controlador 2: 1~199 SCCM (calibración de gas H2)
- Controlador 3: 1~499 SCCM (Calibración de metano)
- Haga clic en la imagen de la izquierda para ver las especificaciones detalladas
- Advertencia: El H2 y el Metano deben instalarse cerca del horno para evitar fugas de gas.
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| Bomba de vacío y válvula | - Bomba de vacío de paletas rotativas de alta resistencia (7,8 CFM -240 L/m) con sistema de escape de dos etapas instalada en la caja inferior con una presión de vacío máxima de 10-2 Torr.
- El adaptador KFD25 y el tubo de acero inoxidable están conectados entre la bomba y la brida del tubo con la válvula de bola
- El manómetro de vacío digital y la pantalla están instalados con el horno (fig. 1)
- La bomba sin aceite (Fig. 2) y el sistema de mezcla y suministro de gas (Fig. 3) están disponibles y el sistema de vacío controlado por presión PID está disponible bajo pedido con un coste adicional
 Fig. 1  Fig. 2Foto 3
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Manómetro anticorrosivo
| - Rango de medición de 3,8x10-5 a 1125 Torr
- Anticorrosivo, independiente del tipo de gas
- Alta precisión y reproducibilidad en atmósfera para una detección fiable de la presión atmosférica
- La rápida detección atmosférica elimina el tiempo de espera y acorta el ciclo del proceso
- Elemento sensor plug & play fácil de intercambiar
- Haga clic en la imagen para ver las especificaciones detalladas
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| Controlador de temperatura | - Dos controladores de temperatura con 30 segmentos programables con +/- 1 ºC de precisión de temperatura
- Función PID Auto-Tune integrada con protección contra sobrecalentamiento y termopar roto
- La protección contra sobretemperatura y la alarma permiten el funcionamiento sin asistente(s)
- Puerto de comunicaciones RS485 con software de funcionamiento para PC
- Puede actualizar el controlador de temperatura al controlador Eurotherm con precisión de 0,1 ºC con software
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| Panel de control | - Panel de control con pantalla táctil de 7" que controla la temperatura, el caudal de gas y la potencia del plasma.
- El software de control de PC está disponible bajo petición para la operación remota por ordenador portátil (debe comprar un ordenador portátil con el software preinstalado)
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Opcional
| - Podemos actualizar el horno a 5 "Tubo, y crecer 4" película de ancho
- El tubo de mayor diámetro hasta 8" OD para el sistema CVD rollo a rollo está disponible bajo pedido.
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Dimensiones totales
| 2400 L x 600 W x 1250 H mm |
| >Garantía | Garantía limitada de un año con soporte de tiempo de elevación (Las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertos por la garantía, por favor, solicite el reemplazo en los productos relacionados a continuación). |
| Conformidad | - Certificado CE
- Certificación NRTL (UL61010) o CSA disponible con coste adicional.
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| Instrucciones de uso |   
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Advertencia
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