Al2O3- Oblea de zafiro, plano C (0001), 3" Dia.x0.5mm , 2SP

• Zafiro (monocristal de Al₂O₃ ) se utiliza ampliamente como sustrato para nitruros III-V y para muchas otras películas epitaxiales.
• Orientación: Eje C[0001]( +/-0.3 Deg) con plano estándar
• Diámetro: 3 +/- 0,3 mm
• Espesor: 500um +/- 25 um
• Plano Mayor: Eje A[11-20]+/-0.^2o
• Acabado de la superficie: Caras frontales: Epi-pulido Ra<0.5nm (por AFM)
• Cara posterior: Epi-pulido , <0.5nm(por AFM)
• TTV: < 10um
• Superficie pulida: Dos caras epi pulidas por tecnología especial CMP
• Embalaje: Cada oblea se embala en sala blanca de clase 1000

Propiedades típicas:

• Estructura cristalina: Hexagonal. a=4,758 Angstroms c=12,99 Angstroms
• Punto de fusión: 2040 grados C
• Densidad: 3,97 ^gramos/cm2
• Técnica de crecimiento: CZ
• Pureza del cristal: >99.99%
• Dureza: 9 ( mohs)
• Térmica Expansión: 7.5x10^{-6 (}/ ^oC)
• Conductividad térmica: 46.06 @ 0 ^oC, 25,12 @ 100 ^oC, 12,56 @ 400 ^oC( W/(m.K) )
• Constante dieléctrica: ~ 9,4 @300K en el eje A ~ 11,58@ 300K en el eje eje C
• Tangente de pérdida a 10 GHz: < ^2x10-5 en el eje A, <5 ^x10-5 en el eje C

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