Sustrato monocristalino de Al2O3 , <0001> 100mm Dia. x 0.65mm 2sp - ALC100D065C2

• El zafiro (monocristal de _Al2O3 ) se utiliza ampliamente como sustrato para nitruros III-V y para muchas otras películas epitaxiales.
• Orientación: Plano C desplazado 0,2+/- 0,^1o respecto al plano M hacia la izquierda del Primario; 0 +/- 0.^1o hacia el plano A
  
• Diámetro: 100 mm+/-0,1
• Espesor: 0,65 mm +/-0,025
  
• Plano mayor: eje A[11-20]+/-0,^3o
• Longitud del plano mayor: 32,5mm +/- 2,5mm
• Acabado superficial: dos lados Epi-pulido Ra<=0.3nm(por AFM)
  
• TTV <= 15um
• Alabeo <= 20um
• Arco <= 20um
• Embalaje: Cada oblea se embala en sala blanca de clase 1000

Propiedades típicas:

• Estructura cristalina: Hexagonal. a=4,758 Angstroms c=12,99 Angstroms
• Punto de fusión: 2040 grados C
• Densidad: 3,97 ^gramos/cm2
• Técnica de crecimiento: CZ
• Pureza del cristal: >99.99%
• Dureza: 9 ( mohs)
• Térmica Expansión: 7.5x10^{-6 (}/ ^oC)
• Conductividad térmica: 46,06 @ 0 ^oC, 25,12 @ 100 ^oC, 12,56 @ 400 ^oC( W/(m.K) )
• Constante dieléctrica: ~ 9,4 @300K en el eje A ~ 11,58@ 300K en el eje eje C
• Tangente de pérdida a 10 GHz: < ^2x10-5 en el eje A, <5 ^x10-5 en el eje C

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