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FmAlNonALc101D05C1FT5000US
Plantilla AlN sobre Zafiro(0001) 4 "x 0.5mm, una cara pulida, película AlN: 5000nm - FmAlNonALc101D05C1FT5000US
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Plantilla AlN sobre Zafiro(0001) 4 "x 0.5mm, una cara pulida, película AlN: 5000nm - FmAlNonALc101D05C1FT5000US
MTI
La plantilla de AlN sobre zafiro se fabrica mediante un método basado en la deposición de nanocristales por vapor de plasma (PVDNC). La plantilla de AlN es una forma rentable de sustituir el sustrato monocristalino de AlN.
Especificaciones
- Plantilla de nitruro de aluminio: Diámetro de 4
- Espesor nominal de AlN: 5000 nm +/- 10%.
- Superficie frontal: As-grown
- Superficie posterior: Sustrato tal como se recibe
- Área de exclusión de bordes: 5 mm
- Densidad de macrodefectos: <=5 cm-2
- Sustrato de zafiro, Diámetro: 100 +/- 0,2 mm
- Sustrato de zafiro, orientación: Plano C desplazado 0,20 +/- 0,1 grados respecto al plano M
- Acabado superficial: Pulido por una cara
