Plantilla AlN sobre Zafiro(0001) 2 "x 0.5mm, una cara pulida, película AlN: 1000nm - FmAlNonALc50D05C1FT1000US

La plantilla de AlN sobre zafiro se fabrica mediante un método basado en la deposición de nanocristales por vapor de plasma (PVDNC). La plantilla de AlN es una forma rentable de sustituir el sustrato monocristalino de AlN.

Especificaciones

• Tamaño 2" redondo
• Orientación de la película fina de AlN: (0001)
• Sustrato Zafiro Orientación: eje c (0001) +/- 1,0 deg.
  Tipo y dopaje de la película de AlN Sin dopar, semiaislante
• Densidad de Macro Defectos: <=5 ^cm-2
• Acabado de la superficie frontal (cara de Al): As-grown
  
• Acabado de la superficie posterior Acabado de zafiro tal como se recibe
• Superficie útil >90
• Área de exclusión de bordes 1 mm
• Envase Envase de oblea individual
• AlEspesor de la capa N 1000 nm +/- 5%.
• Pulido: Una cara pulida