Plantilla AlN sobre Zafiro(0001) 2 "x 0,5mm, dos caras pulidas, película AlN: 1000nm

La plantilla de AlN sobre zafiro se fabrica mediante un método basado en la deposición de nanocristales por vapor de plasma (PVDNC). La plantilla de AlN es una forma rentable de sustituir el sustrato monocristalino de AlN.

Especificaciones

• Tamaños: 2" redondo
• Orientación del sustrato de zafiro : Plano C 0,20° desviado hacia el plano m
• Tipo y dopaje de la película de AlN Sin dopar
• Densidad de macrodefectos: <5 ^cm-2
• Acabado de la superficie frontal (cara de Al): As-grown
  
• Acabado de la superficie posterior Zafiro: acabado tal como se recibe
• Superficie útil: >90%
• Área de exclusión de bordes: 1 mm
• Embalaje: Envase de oblea individual
• AlEspesor de la capa N: 1000 nm +/- 5%
  
• Pulido: Pulido por ambas caras