LaAlO3, (110) Ori. Oblea de 3" x 0,5 mm 2SP

Especificaciones del sustrato:

• Tamaño de la oblea: 3" de diámetro +/- 0,5 mm x 0,5 de grosor +/-0,05 mm
• Orientación de la oblea: (110) +/-0,5 grados
• Borde Orientación: <100>
  
• Pulido: Pulido CMP con sub-superficie libre dañada.
• Acabado superficial (RMS o Ra) : < 15A
• Embalaje: Bajo 1000 clase de sala limpia, y en bolsa de plástico de grado 100 en un contenedor de obleas..
• Constante de red a=3,792ŠPseudocúbica
• Advertencia: LaAlO3 cristal tiene un gemelo visible en una superficie pulida, que es la naturaleza normal .