LaAlO3, (110) orn. EPI pulido 3" x 0.5mm oblea 1 SP --- MTI Special !!!-1

Especificaciones del sustrato:

• Tamaño de la oblea: 3" de diámetro +/- 0,5 mm x 0,5 de grosor +/-0,05 mm
• Orientación de la oblea: (110) +/-0,5 grados
• Borde Orientación: <001> +/-1 Deg con 20 mm de longitud
  
• Pulido: CMP pulido con sub-superficie libre dañado
  
• Acabado superficial (RMS o Ra) : < 15A
• Embalaje: En sala blanca de clase 1000, y en bolsa de plástico de grado 100 en un contenedor de obleas.
• Constante de red a=3,792ŠPseudocúbica
• Advertencia: El cristal de LaAlO3 tiene una macla visible en una superficie pulida, que es de naturaleza normal .