LaAlO3, (111) 5x5x0,5 mm sustrato, una cara Epi pulido

Especificaciones del sustrato:

• Tamaño de la oblea: 5 x 5 x 0,5 mm de grosor +/-0,05 mm,
• Orientación de la oblea: (111) +/-0,5 Deg
• Pulido: Una cara Pulido CMP con sub-superficie libre dañada.
• Acabado superficial (RMS o Ra) : < 10A
• Embalaje: En sala blanca de clase 1000, y en bolsa de plástico de grado 100 en un contenedor de obleas.
• Constante de red a=3,792ŠPseudocúbica
• Advertencia: El cristal de LaAlO3 tiene una macla visible en una superficie pulida, que es de naturaleza normal .