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MTI  |  SKU: VTC-600-2HD-GB

Cabezal doble de 2 magnetrones para sputtering por plasma en guantera - VTC-600-2HD-GB-LD

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Cabezal doble de 2 magnetrones para sputtering por plasma en guantera - VTC-600-2HD-GB-LD

MTI

El VTC-600-2HD-GB es un sistema compacto de pulverización catódica por magnetrón con fuentes de objetivos duales de 2" en la guantera. El sistema proporcionará los entornos libres de oxígeno y humedad (<1 PPM ) para el recubrimiento y procesamiento de películas finas sensibles al aire. Una fuente de CC para el recubrimiento de películas metálicas y la otra fuente de RF para el recubrimiento de materiales no metálicos. Este sistema de recubrimiento está diseñado para el recubrimiento de una o varias capas de película de una amplia gama de materiales, como aleaciones, ferroeléctricos, semiconductores, cerámicos, dieléctricos, ópticos, PTFE, etc.

ESPECIFICACIONES

Caja de guantes con depuración
  • Dimensiones de la cámara: 1200 mm L x 740 mm A x 900 mm H, fabricada en acero inoxidable.
  • Puerta frontal de tipo abatible para cargar fácilmente los dispositivos y la muestra
  • Función de purga automática para eliminar rápidamente el O2 y el H2O antes de la purificación por recirculación
  • Función de regeneración automática incorporada en el panel de control
  • El sistema de purificación de alta calidad garantiza O2 y H2O por debajo de 1 PPM
  • Dos antecámaras para el suministro de muestras grandes y pequeñas
  • Haga clic en la imagen de la columna de la izquierda para ver las especificaciones detalladas de la guantera.
Recubridor para sputtering
  • El recubridor está empotrado en el fondo de la guantera con brida hermética.
  • Dos pistolas de pulverización catódica por plasma magnetrón de 2" están instaladas en la parte superior de la tapa, que es una puerta de tipo batiente.
  • Dos fuentes de energía para sputtering están integradas en una unidad de control y se colocan fuera de la guantera.
    • Una fuente DC: 500 W de potencia para el recubrimiento de materiales metálicos (Foto 1)
    • Una fuente de RF: 300 W de potencia, frecuencia de 13,56 MHz para el recubrimiento de materiales no conductores (Foto 2)
  • -- Imagen 1 -- Imagen 2
  • Haga clic en la imagen de la columna de la izquierda para ver las especificaciones detalladas del recubridor para sputtering

Potencia de entrada
  • Monofásica 220 VAC 50 / 60 Hz
  • 2500 W (incluyendo bomba de vacío y enfriador de agua)






Cabezal de sputtering de magnetrón




Vacío Cámara
  • Cámara de vacío: 300 mm Dia. x 300 mm Altura, de acero inoxidable
  • Mirilla: Dos piezas de vidrio de 100 mm de diámetro. Una fija; la otra desmontable para su limpieza y sustitución
  • Tapa abatible con pértiga neumática para facilitar el cambio de objetivo
en




Etapa de muestras
  • El portamuestras es una platina giratoria y calefactable fabricada con un calentador cerámico y una cubierta de cobre.
  • Tamaño del portamuestras: 140 mm Dia. para. Oblea de 4" máx.
  • Velocidad de rotación: 1 - 20 rpm ajustable para un recubrimiento uniforme
  • La temperatura del soporte es ajustable desde RT hasta 500 °C máx. (2 h máx.) con una precisión de +/- 1,0 °C mediante un controlador de temperatura digital

Control de gas y caudal
  • Se han instalado dos controladores de caudal másico (MFC) de precisión para permitir la entrada de dos tipos de gases
    • Caudal 0 - 200 ml/min y 0 - 100 ml/min ajustables en el panel de control con pantalla táctil
  • Válvula de entrada de aire instalada para liberar el vacío
  • Se requiere gas Ar de pureza 5N para el funcionamiento del sistema de recubrimiento en la guantera.
Bomba de vacío
Enfriador de agua
  • Se incluye un enfriador digital de agua de recirculación con temperatura controlada. (Haga clic en la imagen para ver los detalles)
    • Rango de refrigeración: 5~35 °C
    • Caudal: 16 L/min
    • Presión de la bomba: 14 psi
    Opcional
    • Monitor de espesor de película de cuarzo de precisión es opcional, que puede estar en la cámara para controlar el espesor del revestimiento con una precisión de 0,10 Š
    • Haga clic en la imagen de la izquierda para ver las especificaciones detalladas


    Dimensiones generales

    Tapa cerrada 48" × 28" × 32" Tapa abierta 48" × 28" × 37"

    Peso neto de la recubridora
    • 360 kg

    Conformidad
    • Aprobación CE
    • Certificación NRTL (UL 1450) disponible a petición con coste adicional

    Garantía
    • Un año de garantía limitada con asistencia de por vida


    Vídeo de demostración del funcionamiento
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