MTI  |  SKU: OTF-1200X-S1-MPECVD

1200C Max. Horno CVD mejorado por plasma de microondas (MPECVD) con tubo de cuarzo de 1''-2'' - OTF-1200X-S-MPECVD

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1200C Max. Horno CVD mejorado por plasma de microondas (MPECVD) con tubo de cuarzo de 1''-2'' - OTF-1200X-S-MPECVD

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El OTF-1200X-S-MPECVD es un horno tubular CVD mejorado con plasma de microondas deuna sola zona. El sistema consta de un generador de plasma de microondas de 600 W, un horno tubular de cuarzo de 1" o 2" de diámetro exterior y un vacuómetro digital anticorrosivo. El plasma de microondas mostró potenciales y posibilidades para el procesamiento CVD a baja temperatura, proporcionando otro método para el recubrimiento eficiente de nanopartículas / crecimiento de nanotubos.

Aplicaciones y ventajas adecuadas:
- Hás altos grados de ionización y disociación ayudan a a reducir la energía de activación y a mejorar la cinética para iniciar una reacción química. reacción química.
- Se utiliza comúnmente para el crecimiento conformado de nanotubos de carbono (CNT), carbono conductor o películas similares a las dimondas sobre sustratos o partículas de soporte.
- Adecuado para el procesamiento de dispositivos sensibles a las descargas estáticas eléctricas. Esto es una ventaja de la mayor frecuencia y distancias de viaje de los electrones más cortas.

Especificaciones

Horno de tubo partido
  • Tensión de entrada: 110/220 VCA, monofásica. 50/60 Hz.
  • Potencia de entrada: 1,2 kW.
  • Temperatura máxima de trabajo: 1200 °C (< 60 min).
  • Temperatura de trabajo en continuo: 1100 °C.
  • Velocidad máxima de calentamiento: 10 °C /min.
  • 30 segmentos controlador digital de temperatura de precisión programable.
  • Zona de calentamiento de 200 mm.
  • Compatible con tubo de cuarzo de 1" o 2" de diámetro exterior.
Controlador de temperatura
  • Control proporcional integral derivativo (PID).
  • Protección integrada contra fallos de temperatura y termopar.
  • Puerto de comunicación D89 BC predeterminado.
  • Precisión de temperatura: ±1 °C.
  • Elementos calefactores: Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo.
  • Puerto de comunicaciones RS485.
    • Control Avanzado de Temperatura (Opcional)
    • El kit de software de control de temperatura MTS02-Y (para controladores de la serie YD518P) + paquete de portátil de 15" está disponible en la barra de opciones. Haga clic para obtener información detallada sobre el kit de software MTS02-Y.
    • Puede actualizar el controlador de temperatura al controlador de temperatura Eurotherm 3204 que es totalmente compatible con LabVIEW. Este paquete incluye un programador Eurotherm 3204, un cable de comunicación (RS485 - USB) y un CD de software. Haga clic en la imagen de abajo para ver las especificaciones completas del controlador de temperatura Eurotherm 3204.
Tamaños de tubo opcionales
  • Tubo de cuarzo de 1 25 × 1000 mm (D.E. × L).
  • Tubo de cuarzo de 2 50 × 1000 mm (D.E. × L).
Póngase en contacto con nosotros si desea otros tamaños de tubo opcionales.
Generador de microondas
  • Tensión de entrada: 110 VCA, monofásica.
  • Potencia de entrada: 600 W (Opcional: 1200W, 2100W y 3500W generadores de microondas están disponibles bajo petición, se aplicará un coste adicional)
  • Frecuencia: 2.45GHz
  • Tiempo de funcionamiento continuo: 30 min.
  • Refrigeración por aire.
  • Equipado con un escudo protector de aluminio y un ventilador de CA para minimizar la fuga de microondas.
Sensor de presión
Bomba de vacío
  • Tensión de trabajo: 110 VCA/60 Hz o 220 VCA 50/60 Hz, monofásica.
  • Potencia de trabajo: 375 W.
  • Bomba de vacío de paletas rotativas de 156 L/min.
  • Capacidad de vacío: 10 ^ -3 Torr.
Dimensiones del producto
  • Dimensiones del producto: 1200 × 500 × 600 mm.
  • Horno: 340 × 300 × 400 mm.
  • >Generador de microondas:360 × 300 × 600 mm.
Garantía
Un año de garantía limitada con asistencia en tiempo de elevación (la garantía no cubre las piezas consumibles, como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores; solicite la sustitución en los productos relacionados a continuación).
Ordenador portátil y software (opcional)
  • Ordenador portátil nuevo con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita)
  • Sistema de control de temperatura basado en Labview(EQ-MTS01) permite al usuario editar el perfil de temperatura, gestionar recetas de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos MTI.


Conformidad

  • Certificado CE
  • La certificación NRTL está disponible bajo petición y con coste adicional.
Advertencia

Haga clic aquí para conocer la instalación de un regulador de gas
  • Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para utilizarse en vacío y a baja presión < 0,2 bares / 3 psi / 0,02 Mpa
  • Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro. Haga clic aquí para conocer la instalación de un regulador de gas regulador.
  • Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C
  • MTI se reserva el derecho de modificar el diseño PECVD en cualquier momento sin previo aviso, pero promete que la calidad cumplirá con las especificaciones anteriores
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