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MTI  |  SKU: GSL3F-PTFE

Estación de control de mezcla de gas de tres canales anticorrosión fabricada con piezas de PTFE - GSL-3F-PTFE

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Estación de control de mezcla de gas de tres canales anticorrosión fabricada con piezas de PTFE - GSL-3F-PTFE

MTI

EQ-GSL-3F-PTFE es un sistema de mezcla y suministro de gas anticorrosión de tres canales. Todas las piezas que entran en contacto con el gas son de PTFE (por ejemplo, la válvula, la tubería, el depósito de mezcla y el caudalímetro). Está diseñado para suministrar gases corrosivos, como sulfuro de hidrógeno (H2S) y seleniuro de hidrógeno ( H2Se) para el procesamiento CVD.

Especificaciones

Medidor flotante

Tres caudalímetros flotantes anticorrosivos fabricados con material de PTFE con caudales de 10 - 1000 mL/min.
Válvulas Tres válvulas de aguja de material PTFE controlan la salida de gas en el panel frontal
Tanque de mezcla de gas
  • Tanque de gas de 1000 ml fabricado en PTFE
  • El gas de cada canal fluirá hacia el tanque para mezclarse antes de salir
Racor

  • Racor de tubería fabricado en PTFE y acepta tubería de 1/4" (nailon o acero inoxidable)


  • Tres accesorios de entrada de gas (de los tanques de gas) están instalados en el lado derecho del carro
  • Los gases de dos canales fluyen hacia un recipiente mezclador de gas y uno independiente del canal de gas (consulte el manual para ver el dibujo)
  • Dos racores de salida de gases (al horno tubular) se instalan en el lado izquierdo del carro (uno para mezclar gases y otro independiente)
  • Se incluye tubería de PTFE de 1/4" de 12' de longitud para su uso inmediato
Estación móvil
  • Carro móvil de alta resistencia con cuatro ruedas y freno, en cuya parte superior se puede colocar el horno pequeño MTI

  • Tamaño600 mm (L) x 600 mm (A) x 650 mm ( H)
  • Peso neto: 160 Lb
  • Peso máx. de carga: 500 Lb
Envío
  • Dimensiones de envío: 41 x 49 x 38inch
  • Peso del envío: 200 lbs

Garantía
  • Dos años limitada con soporte de por vida
Monitorización de oxígeno Un sensor de oxígeno puede utilizarse para controlar el nivel de oxígeno de los gases utilizados en los sistemas CVD para evitar o reducir la oxidación. Haga clic en la siguiente imagen para obtener más información:
Notas de aplicación
  • Si su proceso de CVD implica gases corrosivos, como H2S, por favor considere el uso de bridas de PTFE en su horno tubular.
  • Además, elija la bomba de vacío seca anticorrosión en lugar de una bomba de vacío de aceite.
Instrucciones de uso Manual de Operación

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