MTI  |  SKU: VBF1200XH8

1100°C Máx. 8OD7.6 LVhorno de cámara de vacío con brida de paso-VBF-1200X-H8

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Vacuómetro

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1100°C Máx. 8OD7.6 LVhorno de cámara de vacío con brida de paso-VBF-1200X-H8

MTI

El VBF-1200X-H8 es un horno de vacío compacto. Está equipado con una cámara tubular de cuarzo de 7,5" de diámetro interior x 13,4" de longitud, colocada horizontalmente. Se instalan bridas de vacío de acero inoxidable refrigeradas por agua con válvulas para alcanzar un vacío de hasta 10-5 Torr mediante turbobomba. Está diseñada para calcinar o recocer obleas semiconductoras (de hasta 6") al vacío o en otras atmósferas gaseosas con una temperatura de hasta 1100°C. También puede utilizarse como horno de soldadura al vacío.
ESPECIFICACIONES

Potencia

  • Tensión: Monofásica 208 - 240 VAC / 50/60Hz, (disyuntor de 20 A instalado)
  • 3 KW máx.
  • Nota Cable de alimentación incluido pero sin enchufe. Por favor, instale un enchufe por su cuenta o haga clic en el enlace debajo de la imagen para elegir un enchufe de acuerdo a su país o su requisito de laboratorio.


Temperatura de trabajo

  • <= 1000 °C de forma continua

  • Máx. 1100 °C, < 30 minutos
  • Uniformidad de temperatura +/- 2°C
  • Nota: <= 1150 °C de forma continua está disponible bajo petición por GE214 tubo de cuarzo de grado en el costo adicional

Velocidad de calentamiento

  • Máx. 20°C/ min
  • Recomendado 10°C/ min

Elementos calefactores

  • Alambre de resistencia Ni-Cr-Al de alta calidad

Tubo de cuarzo y Calentamiento eficaz

  • Tamaño del tubo: 8 O.D. x 7.5" I.D. x 13.4" L.

  • Zona de calentamiento (dentro del tubo de cuarzo): 7,5" de diámetro interior x 8,5" de profundidad (7,6 litros)

  • Zona de temperatura uniforme: 6 "Dia x 3.5" profundidad en posición central dentro de +/- 5ºC

  • El tubo de cuarzo es reemplazable ( haga clic en la imagen de la izquierda para pedir un tubo de repuesto )


Brida de vacío



Nota: La puerta de brida estándar se ha actualizado a tipo feedthrough el 15 de febrero de 2016.


  • Acero inoxidable Conjunto de brida refrigerado por agua con dos puertos de conexión rápida. Todas las juntas son de silicona.
  • Multifunción de los puertos de conexión rápida mediante tubos de alúmina perforados de 1/4" de diámetro exterior.
    • Entrada/salida de gas cerca de la superficie de la muestra. (Fig. A, B, C)
    • Paso de termopar (Fig. A, B, C, D); tipo K opcional 1/4 "ODx18" L
    • Pasamuros eléctrico. p. ej. Medición de la resistencia de cuatro sondas (Fig. D)
  • Se suministra un bloque refractario de espuma de Al2O3 perforado (190Dia * 50mm). (Fig. F)
  • Termopar o eléctrico Alumina Feedthrough (O.D 6.35mm, I.D 4.0 mm, L 300mm) está disponible bajo petición (Desde abril de 2016)
  • Vacuómetro mecánico (incluido como accesorio estándar), que oscila entre -0,1 a 0,15Mpa.
Fig. A Fg. B Fig. C Fig. C Fig. F
Entrada y salida de gas y refrigeración por agua
  • En el lado izquierdo del horno hay una entrada de gas de purga (adaptador de manguera de 1/4" ) con una válvula.
  • El gas inerte puede introducirse en la cámara a través de la entrada con fines de purga.
  • Si se necesita un flujo de gas continuo, consulte laentrada de gas adicional y la sonda de termopar más abajo.
  • Se ha construido una camisa de refrigeración de agua dentro de la brida para proteger las juntas tóricas de sellado al vacío. Los orificios de entrada y salida situados en el lado izquierdo del horno se utilizan para conectarse a un enfriador de agua a través de dos tubos de poliuretano de 12 mm de diámetro (se requiere un caudal de agua de 16 L/minuto). Haga clic en la imagen de la izquierda para pedir el enfriador de agua.
  • Se requiere un enfriador de agua para temperaturas de calentamiento superiores a 500°C (se coloca el bloque térmico)
Regulador de temperatura

  • Incluye controlador digital de temperatura con certificación NRTL.
  • Control proporcional-integral-derivativo (control PID) y función de autoajuste
  • 30 segmentos programados con pasos de rampa, refrigeración y vivienda
  • Alarma de sobretemperatura incorporada y alarma de fallo del termopar
  • Precisión de control de temperatura de +/- 1 ºC
  • Se incluye un puerto de comunicación con PC DB9 predeterminado para la conexión a un PC
  • Elcontrolador de temperatura Eurotherm está disponible con un coste adicional con +/-0,1°C de precisión.
Opciones


  • Manómetro digital (opcional) Manómetro digital de vacío independiente del tipo de gas (por encima de 10 mbar) con un amplio rango entre 3,8x10-5 y 1125 Torr. ( Haga clic en la imagen 1 para realizar el pedido )
  • Puede elegir un mezclador de gases para suministrar múltiples gases con control sobre la composición del gas y el caudal (haga clic en las imágenes siguientes para pedirlo por separado).
    Imagen. 1New Version front panelFoto. 2
Opciones
  • El portamuestras no está incluido en el horno. Puede consultar la fig. 1 para pedirlo
  • Puede pedir el barquichuelo de cuarzo para recocer obleas de hasta 6" ( Pic.2)
  • El Bloque Térmico de Cuarzo opcional está disponible bajo pedido como bloque refractario, que puede ayudar a conseguir un nivel de vacío más alto y evitar posibles problemas de contaminación, por favor, pida el Bloque Térmico de Cuarzo.
  • Se puede utilizar un tubo de alúmina de 1/4" con 4 or ificios para insertar 4 hilos (por ejemplo, hilos de Pt) a través de los orificios para medir las propiedades eléctricas a alta temperatura, con un coste adicional.


portamuestras Barco de cuarzo para oblea Bloque térmico de cuarzo Paso de 4 hilos



Presión de vacío





  • El nivel de vacío depende de la bomba de vacío utilizada, la tubería conectada, los materiales del bloque refractario interior, etc. Mediante el uso de KFD25, tubería de acero inoxidable, bomba mecánica de dos etapas de MTI y válvula de bola KF25, el horno puede alcanzar niveles de vacío por debajo de:
    • 10-2 torr mediante bomba mecánica en 30 minutos
    • 10-4 torr mediante turbo-bomba en 30 minutos con el Bloque Térmico de Cuarzo a 900C
  • Opcional:
    • La bomba de vacío y el tubo no están incluidos, por favor haga clic en la imagen de abajo para pedir.
    • Para conseguir un mayor nivel de vacío, es necesaria una turbobomba.
    • La junta tórica de sellado de repuesto está disponible con un coste adicional (haga clic en la segunda imagen de la izquierda).
    • Válvula de ángulo recto KF25 para conexión rápida a fuelles KF25 (haga clic en la imagen 3 de abajo ).

Conformidad

  • Certificado CE
  • Certificación NRTL o CSA disponible bajo pedido con coste adicional.
  • Número Patten: ZL-2011-2-0102249.4 DESDE 2011-5-19

Advertencia


Haga clic aquí para aprender la instalación de un regulador de gas


  • Los hornos tubulares con tubos de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bares
  • Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro. Haga clic aquí para conocer la instalación de un regulador de gas.
  • Nunca caliente el horno mientras la válvula de escape de gas esté cerrada cuando exista una condición de presión positiva dentro de la cámara del horno.
  • Máx. 1000°C está limitado en todos los hornos tubulares de cuarzo en vacío para evitar la deformación del tubo de cuarzo.
  • El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM para reducir los choques térmicos.