MTI  |  SKU: VBF1200XV9

Horno de vacío vertical máx. 1100C con brida (cámara de cuarzo de 8" de diámetro exterior) - VBF-1200X-V9

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Horno de vacío vertical máx. 1100C con brida (cámara de cuarzo de 8" de diámetro exterior) - VBF-1200X-V9

MTI

El VBF-1200X-V9 es unhorno verticalal vacío . Está equipado con una cámara tubular de cuarzo de Ø200ר190×H425 mm con brida y válvulas de acero inoxidable, que puede alcanzar un vacío de 10-5 mediante una turbobomba de Torr. Está diseñado para calcinar o recocer obleas semiconductoras (hasta 8") en vacío o en otras atmósferas gaseosas con una temperatura de hasta 1100°C.

ESPECIFICACIONES

Potencia

  • Tensión: Monofásica 208 - 240 VAC / 50/60Hz, (disyuntor de 25 A instalado)
  • 3 KW máx.
  • Nota: Cable de alimentación incluido pero sin enchufe. Por favor, instale un enchufe por su cuenta o haga clic en el enlace debajo de la imagen para elegir un enchufe de acuerdo a su país o los requisitos de su laboratorio.


Temperatura de trabajo

  • <1100°C a presión ambiente

  • <1000°C en vacío
  • El tubo de cuarzo GE214 está disponible para una temperatura de trabajo de 1150oC con un coste adicional.

Velocidad de calentamiento

  • <20°C/ min
  • Recomendado 10°C/ min

Elementos calefactores

  • Alambre de resistencia Ni-Cr-Al

Tubo de cuarzo & Calefacción eficaz

  • Tamaño del tubo Ø200ר190×H425 mm

  • Carga máxima 40Kg
  • Superficie de calentamiento Ø240×H245 mm
Brida de vacío

  • Brida de vacío de acero inoxidable con juntas tóricas dobles de silicona de alta temperatura con camisa de refrigeración de agua
  • Una entrada de gas 1/4 y una salida de gas con válvulas de aguja.
  • Se suministra un bloque refractario de espuma de Al2O3 perforado (190Dia x 50mm)
  • Puerto K25 incorporado para conectar a la bomba de vacío
  • Vacuómetro mecánico (incluido como accesorio estándar), que oscila entre -0,1 y 0,15Mpa
Refrigeración por agua

  • Se ha construido una camisa de refrigeración por agua en el interior de la brida para proteger el conjunto de sellado al vacío de la fusión a más de 200°C. Se requiere un caudal de agua de 16L/min.
Controlador de temperatura

  • Incluye controlador digital de temperatura con certificación NRTL
  • Control proporcional-integral-derivativo (control PID) y función de autoajuste
  • 30 segmentos programados con pasos de rampa, refrigeración y vivienda
  • Alarma de sobretemperatura incorporada y alarma de fallo del termopar
  • Precisión de control de temperatura de +/- 1 ºC
  • Puerto de comunicación DB9 para PC incluido para conexión a PC
  • El controlador de temperatura Eurotherm está disponible con un coste adicional con +/-0,1°C de precisión

Opciones



Presión de vacío





  • El nivel de vacío depende de la bomba de vacío utilizada, la tubería conectada, los materiales del bloque refractario interior, etc. Mediante el uso de KFD25, tubería de acero inoxidable, bomba mecánica de dos etapas de MTI y válvula de bola KF25, el horno puede alcanzar niveles de vacío por debajo de:
    • 10-2 torr mediante bomba mecánica en 30 minutos sin Bloque térmico
    • 10-5 torr mediante turbo-bomba en 30 minutos con el Bloque Térmico de Cuarzo a 900C
  • Opcional:
    • La bomba de vacío y el tubo no están incluidos, haga clic en la imagen 1 para pedirlos.
    • Para alcanzar un nivel de vacío más alto, se necesita una estación de turbobomba. (haga clic en la imagen 2)
    • Junta tórica de sellado de repuesto disponible con coste adicional (haga clic en la imagen 3)
    • Válvula de ángulo recto KF25 para conexión rápida a fuelles KF25 (haga clic en la imagen 4)
Fig. 1 Fig. 2 Foto. 3 Pic. 4

Opciones

Puede elegir un mezclador de gas para suministrar varios gases con control de la composición del gas y el caudal (haga clic en las imágenes siguientes para pedirlo por separado).
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Conformidad

  • Certificado CE
  • La certificación NRTL o CSA está disponible bajo petición y con coste adicional.

    Advertencia


    Haga clic aquí para conocer la instalación de un regulador de gas

    • Los hornos tubulares con tubos de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bares
    • Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro.
    • Debe imponerse una temperatura máxima de 1000°C en todos los hornos tubulares de cuarzo para evitar que los tubos de cuarzo sufran deformaciones en vacío.
    • El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM para reducir los choques térmicos.