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MTI  |  SKU: PCE6

Plasma Cleaner de 3 L con bomba de vacío y controlador digital, cámara de cuarzo de 6 "Dx6,5 "L - EQ-PCE-6

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Plasma Cleaner de 3 L con bomba de vacío y controlador digital, cámara de cuarzo de 6 "Dx6,5 "L - EQ-PCE-6

MTI

El EQ-PCE-6 es un limpiador de plasma medio con cámara de cuarzo de 6" de diámetro x 6,5" de longitud. Está diseñado para limpiar y eliminar la contaminación orgánica a nanoescala en el sustrato o la oblea de hasta 4" utilizando plasma de aire, oxígeno o argón. La velocidad de eliminación orgánica es de unos 20 nm/min como máximo a alta potencia de RF. Es una herramienta excelente para limpiar previamente el sustrato monocristalino antes de la deposición de la película epitaxial para lograr una mejor calidad. Si no tiene experiencia con la limpieza de superficies con plasma, consulte los siguientes artículos:
  • McIntire, Theresa M., S. Rachelle Smalley, John T. Newberg, A. Scott Lea, John C. Hemminger, Barbara J. Finlayson-Pitts. "Cambios de sustrato asociados a la química de las monocapas autoensambladas sobre silicio". Langmuir (2006) 22(13): 5617-5624.
  • Sumner, Ann Louise, Erik J. Menke, Yael Dubowski, John T. Newberg, Reginald M. Penner, John C. Hemminger, Lisa M. Wingen, Theo Brauers, Barbara J. Finlayson-Pitts. "La naturaleza del agua en superficies de sistemas de laboratorio e implicaciones para la química heterogénea en la troposfera". Phys. Chem. Chem. Phys. (2004) 6: 604-613.
  • Mennicke, Ulrike, Tim Salditt. "Preparation of Solid-Supported Lipid Bilayers by Spin-Coating". Langmuir (2002) 18: 8172-8177.
ESPECIFICACIONES
Potencia de entrada
Potencia RF
  • La potencia de RF (alto voltaje y corriente de alta frecuencia aplicados a la bobina) se puede ajustar en tres niveles: Ajuste bajo: 7,2 W; ajuste medio: 10,2 W; ajuste alto: 30 W.
  • Frecuencia de RF: 13,56 MHz
Panel de control
  • Función de control: Tiempo de limpieza, Potencia RF, Bomba de vacío.
Cámara de plasma
  • Cámara de cuarzo de 6" de diámetro x 6,5" de longitud
  • Capacidad de 3 litros
  • Puerta abatible con ventana para facilitar la carga y observación de las muestras
Bomba de vacío
Gas inerte
  • Se pueden elegir diferentes gases para la limpieza con plasma, como N2, Ar, aire y gas mezclado.
  • No se debe utilizar ningún gas inflamable para la limpiadora de plasma.
Opcional
  • La combinación de la limpiadora de plasma PCE-6 con el mezclador de gas de dos canales será una solución para introducir hasta dos gases de proceso. Pida la limpiadora de plasma con el mezclador de gas de dos canales desde las opciones del producto o Haga clic en la imagen de la izquierda para el mezclador de gas de dos canales.<span style="font-family: arial, helvetica, sans-serif; font-size: small;">
Dimensiones
    • 400 mm de largo × 300 mm de ancho × 300 mm de alto
    • 16" x 12" x 12" (pulgadas)
    Peso neto 30 libras
    Peso y dimensiones de envío
    • 140 libras
    • 40 "x30 "x23" pulgadas
    Garantía Un año de garantía limitada con soporte de por vida ( no hay garantía para la cámara de vidrio Pyrex )
    Nota de aplicación La presión positiva puede dañar la cámara de plasma de cuarzo.
    Manual de instrucciones
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