MTI  |  SKU: PCE8

Limpiador / Grabador de Plasma RF de 8.5" con Bomba de Vacío. (12 litros, 13,56 Mhz, 80 W máx.) - EQ-PCE-8

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Limpiador / Grabador de Plasma RF de 8.5" con Bomba de Vacío. (12 litros, 13,56 Mhz, 80 W máx.) - EQ-PCE-8

MTI

PCE-8 es un limpiador de plasma o unidad de grabado con 8,5 "Dia x 14" "Longitud de la cámara de cuarzo y 0 - 80W de potencia de RF variable. Está diseñado para limpiar y eliminar la contaminación orgánica a nanoescala en el sustrato u oblea de hasta 8" utilizando plasma de aire, oxígeno o argón. La velocidad de eliminación orgánica es de unos 20 nm/min como máximo a alta potencia de RF. Es una excelente herramienta para pre-limpiar el sustrato monocristalino antes de la deposición de la película epitaxial para lograr una mejor calidad. Si no tiene experiencia en la limpieza de superficies con plasma, consulte los siguientes artículos. También se puede utilizar como grabador de plasma a alta potencia de RF.
  • McIntire, Theresa M., S. Rachelle Smalley, John T. Newberg, A. Scott Lea, John C. Hemminger, Barbara J. Finlayson-Pitts. "Cambios de sustrato asociados a la química de las monocapas autoensambladas sobre silicio". Langmuir (2006) 22(13): 5617-5624.
  • Sumner, Ann Louise, Erik J. Menke, Yael Dubowski, John T. Newberg, etc. "La naturaleza del agua en superficies de sistemas de laboratorio e implicaciones para la química heterogénea en la troposfera". Phys. Chem. Chem. Phys. (2004) 6: 604-613.
  • Mennicke, Ulrike, Tim Salditt. "Preparation of Solid-Supported Lipid Bilayers by Spin-Coating". Langmuir (2002) 18: 8172-8177.
ESPECIFICACIONES
Potencia de entrada
  • AC 220V, 50/60 Hz,
  • Potencia RF: 80 W máx. ( estándar para limpieza)
  • Bomba de vacío: normal 550W, arranque 750W
  • Potencia total: 830W máx.
  • Corriente de trabajo <= 3A
Potencia RF
  • La potencia de RF se puede ajustar entre 0 y 80 W
  • Frecuencia RF: 13,56 MH

Cámara de plasma
  • Cámara de cuarzo de alta pureza de8,5" de diámetro exterior x 8,2" de diámetro interior x 14" de longitud
  • Volumen: 12 L
  • Brida frontal abatible de aluminio
  • Ventana de cuarzo de 2,3" de diámetro ( 60 mm) para facilitar la observación
  • Totalmente blindado contra la radiación RF con cero fugas de RF
Panel de control
  • Pantalla táctil en color de 6" para controlar automáticamente todos los parámetros de la limpieza con plasma, como el nivel de vacío, el caudal de gas, el nivel de potencia de RF y el tiempo de limpieza.
  • Incorpora un canal Medidor de flujo másico ( 0 - 500ml/minuto) para controlar el flujo de gas dentro de +/- 0,5 ml/m
Bomba y válvula de vacío
Gas inerte
  • Se pueden elegir muchos gases inertes para la limpieza por plasma, como N2, Ar, Aire y gas mixto, dependiendo del tipo de material que se vaya a tratar. ( no incluido en el paquete)
  • No se utilizará ningún gas inflamable para el limpiador de plasma
Opcional
Dimensiones generales
  • 620 L ×600 W ×600 H, mm
  • 24" x 23.5" x 23.5" ( pulgadas )
Peso y dimensiones de envío
  • 350 lbs con bomba de vacío
  • 48 "x40 "x37"
Garantía Un año de garantía limitada con asistencia de por vida ( sin garantía para la cámara de cristal Pyrex )



Manual de instrucciones

Nota de aplicación
  • Por favor, prueben ustedes mismos la mejor potencia de plasma en función de su aplicación.
    • Para la limpieza con plasma, normalmente mantenga la potencia RF entre 10 - 30W dependiendo del material de muestra a limpiar.
    • Para el grabado con plasma, la potencia de RF debe oscilar entre 35 y 80 W, dependiendo del material de la muestra que se vaya a limpiar.
  • Si lo desea, puede solicitar una fuente de alimentación de RF de alta potencia para el grabado, de hasta 300 W, con un coste adicional.
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