MTI  |  SKU: PCE3-2F

Plasma Cleaner de 0,7 L con vacuómetro digital, cámara de cuarzo de 3 "Dx 6,5 "L, 13,56 Mhz - PCE-3

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Plasma Cleaner de 0,7 L con vacuómetro digital, cámara de cuarzo de 3 "Dx 6,5 "L, 13,56 Mhz - PCE-3

MTI

EQ-PCE-3 ( actualizado de EQ-PDC-32G-LD ) es un limpiador de plasma compacto de 3" con sensor de vacío digital y pantalla, así como la puerta con bisagras. que está diseñado para la limpieza y eliminación de la contaminación orgánica a nanoescala en la oblea de hasta 2" con varios gases fácilmente. La velocidad de eliminación orgánica es de unos 10 nm/min como máximo a alta potencia de RF. Es una excelente herramienta para la limpieza previa de sustratos monocristalinos antes del recubrimiento para lograr una mejor calidad de la película. Si no tiene experiencia en la limpieza de superficies con plasma, consulte los siguientes artículos
:
  • McIntire, Theresa M., S. Rachelle Smalley, John T. Newberg, A. Scott Lea, John C. Hemminger, Barbara J. Finlayson-Pitts. "Cambios de sustrato asociados a la química de las monocapas autoensambladas sobre silicio". Langmuir (2006) 22(13): 5617-5624.
  • Sumner, Ann Louise, Erik J. Menke, Yael Dubowski, John T. Newberg, Reginald M. Penner, John C. Hemminger, Lisa M. Wingen, Theo Brauers, Barbara J. Finlayson-Pitts. "La naturaleza del agua en superficies de sistemas de laboratorio e implicaciones para la química heterogénea en la troposfera". Phys. Chem. Chem. Phys. (2004) 6: 604-613.
  • Mennicke, Ulrike, Tim Salditt. "Preparation of Solid-Supported Lipid Bilayers by Spin-Coating". Langmuir (2002) 18: 8172-8177.
ESPECIFICACIONES

Características
  • Limpia y elimina fácilmente la contaminación orgánica a nanoescala en obleas de hasta 2" con varios gases.
  • Excelente herramienta para la limpieza previa del sustrato monocristalino antes del recubrimiento para conseguir una mejor calidad de la película.
  • Puerta abatible para facilitar la carga de muestras.
  • Cámara de cuarzo de 3" de diámetro excelente para la limpieza de obleas de 2" con opción de bote de cuarzo
  • El tubo de Cuarzo extraíble dentro de la Cámara de Cuarzo es fácil de limpiar y reemplazar.

Potencia RF		 Entrada: Limpiador AC 208 - 240V, 50/60Hz, monofásico, 20W ( para 110VAC, puede usar un transformador
Salida: La potencia de RF (alto voltaje y corriente de alta frecuencia aplicada en la bobina) es ajustable en tres niveles:
Ajuste bajo 680V 10 mA 7 W
Ajuste medio 700V 15 mA 11 W
Ajuste alto 720V 25 mA 18 W
Cámara de plasma
  • Cámara de cuarzo de 3" de diámetro x 6,5" de longitud
  • 700 ml de capacidad
  • El cuarzo de gran pureza tiene una vida útil más larga que el vidrio.
Vacuómetro y pantalla
  • Se instala un vacuómetro digital en la puerta abatible.
  • Válvula de aguja de 1/8" NPT para controlar cualitativamente el flujo de gas y la presión de la cámara.
  • Válvula de 3 vías de 1/8" NPT para pasar rápidamente de purgar gas, aislar la cámara y ventilar.
Bomba de vacío
Potencia de entrada
  • Limpiadora CA 208 - 240V, 50/60Hz, monofásica
  • Bomba de vacío AC 208 - 240V, 50/60Hz, monofásica (El limpiador controla la línea de alimentación de la bomba.)
  • Para el funcionamiento bajo AC110V, usted puede pedir adicional (transformador 1500W)

Gases de trabajo
  • Muchos gases inertes pueden ser elegidos para limpiezas de plasma, tales como N2, Ar, Aire, y gas mezclado dependiendo del tipo de material que será tratado. ( Por favor seleccione el mezclador de gas de dos canales en la selección de modelos)
  • Se puede utilizar gas inerte mezclado <5% H2
  • No se utilizará ningún gas inflamable para el limpiador de plasma.
Dimensiones generales
Peso neto del limpiador de plasma 40 Lbs
Peso y dimensiones de envío 100 libras
40 "x24 "x26"


Accesorios opcionales
  • Puede solicitar un tubo de cuarzo extraíble (80 O.D, 205 L mm) con un coste adicional.
  • La combinación de la limpiadora de plasma PCE-3 con el mezclador de gas de dos canales será una solución para introducir hasta dos (2) gases de proceso. Pida la limpiadora de plasma con el mezclador de gas de dos canales de las opciones de producto o Haga clic en la imagen de abajo para el mezclador de gas de dos canales.
  • Puede pedir un portador de obleas de cuarzo para limpiar obleas de 2".
Conformidad
  • Aprobación CE
  • La certificación NRTL NO está disponible temporalmente.
Garantía Garantía limitada de un año con asistencia de por vida ( sin garantía para la cámara de vidrio Pyrex )

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