MTI  |  SKU: OTF1200XSDFPESL

Horno de doble tubo deslizante 1200C con 2 tubos y bridas para PECVD - OTF1200XSDFPESL

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Horno de doble tubo deslizante 1200C con 2 tubos y bridas para PECVD - OTF1200XSDFPESL

MTI

OTF1200XSDFPESL es un equipo PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Depositión) tube furnas sistema. Es una herramienta para PECVD contubo y bridas de cuarzo de 2" ODx55" L y una temperatura detrabajo máxima alcanzable de 1200°C. Se pueden deslizar dos hornos tubulares de 2" sobre el raíl de deslizamiento para encontrar posiciones para la evaporación/sublimación térmica de materiales fuente y la deposición de películas. Deslizando el horno de un lado a otro se pueden alcanzar velocidades máximas de calentamiento y enfriamiento de hasta 100°C/min.

ESPECIFICACIONES

Estructura del horno
  • Ambos hornos son estructuras de acero de doble capa conuna temperaturamáxima de trabajo de 1200°C.
  • Cada horno tiene una zona de calentamiento de 200 mm y una zona de temperatura constante de 60 mm de longitud.
  • Un par de raíles deslizantes están instalados en la parte inferior del horno, lo que permite que el horno sea manualmente desplazarse manualmente de un lado a otro con una distancia máxima de deslizamiento de 400 mm.
  • Las bridas de vacío instaladas para su uso inmediato.

Potencia del horno
  • CA 208-240 V monofásica, 50/60 Hz, requiere disyuntor de 20 A
  • 2,5 KW en total

Máx. Temperatura

  • 1200°C (<1 hora)

Temperatura continua

  • 1100°C

Tasas de calentamiento y enfriamiento


Tarifa de calefacción:
15°C/seg (RT - 150°C);
10°C/seg (150°C - 250°C);
7°C/seg (250°C - 350°C);
4°C/seg (350°C - 500°C);
3°C/seg (350°C - 550°C);
2°C/seg (550°C - 650°C);
 1°C/seg (650°C - 800°C);
0,5°C/seg (800°C - 1000°C);
Velocidad de enfriamiento:
15°C/seg (1000 - 950°C);
10°C/seg (950°C - 900°C);
7°C/seg (900°C - 850°C);
4°C/seg (850°C - 750°C);
2°C/seg (750°C - 600°C);
1,5°C/seg (600°C - 500°C);
1°C/seg (500°C - 400°C);
0,5°C/seg (400°C - 300°C);
Nota:
La velocidad máxima de calentamiento y enfriamiento se consigue precalentando un lado del tubo de procesamiento a la temperatura objetivo y, a continuación, deslizando el horno hacia el otro lado. Puede optar por colocar o no la muestra en la zona de precalentamiento.

Longitud de la zona de calentamiento

  • 200mm( ~8") para cada horno

Zona de temperatura constante
  • 60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

Generador de RF de plasma
  • Potencia de salida: 5 -300 W ajustable con ± 1% de estabilidad
  • Frecuencia RF: 13,56 MHz con ±0,005% de estabilidad
  • Potencia de reflexión: 200 W máx.
  • Adaptación: Automática
  • Puerto de salida RF: 50 ?, tipo N, hembra
  • Ruido: <50 dB.
  • Alimentación: 208-240VAC, 50/60Hz
  • Refrigeración: Refrigeración por aire.

Tamaño del tubo de procesamiento
  • Tubo de cuarzo fundido de alta pureza
  • Tamaño: 50 mm de diámetro exterior x 44 mm de diámetro interior x1500 mm Longitud
  • Opcional: S310 tubo de aleación de alta temperatura está disponible para una mayor presión ( 100 PSI ) a un costo adicional.

Temperatura Controlador
  • Dos hornos con control automático PID con 30 segmentos programables para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia.
  • La alarma de sobretemperatura y la protección incorporadas permiten el funcionamiento sin operario.
  • TSe incluyen dos pares térmicos de tipo K
  • Precisión de temperatura +/ - 1°C
  • Opcional:
    • El horno puede funcionar con un PC instalando un módulo de control. Pida un módulo de control módulo de control MTS-01 con coste adicional.
    • Le recomendamos que nos pida un ordenador (portátil) para evitar problemas de instalación del software.

Bridas de vacío
  • Brida opcional con toma de vacío KF25 y vacuómetro digital disponible con sobreprecio ( Fig.1) y brida de agua fría (Fig. 2).
  • Fig. 1 Foto 2
Raíles deslizantes / Mesa
  • Guía de deslizamiento doble de acero cromado
  • Longitud de deslizamiento: 1200 mm
  • Se incluyen dos abrazaderas con tope deslizante para sujetar la posición de los hornos.

Opcional
  • Deslizamiento motorizado disponible bajo pedido (fig. 1)
  • Modelos de mezcla y suministro de gas de 1-9 canales disponibles (Foto 2)
  • Enfriador de agua para los equipos de laboratorio que necesitan refrigeración por agua. (Foto 3)
  • Bomba de vacío de paletas rotativas de doble etapa para trabajo pesado para obtener un alto nivel de vacío (Pic.4)
Pic. 1 Foto. 2 Foto 3 Foto 4

Dimensiones

780 mm (largo) x 600 mm (ancho) x 710 mm (alto)

Garantía
  • Un año de garantía limitada del fabricante (Las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores no están cubiertos por la garantía, por favor pida repuestos en productos relacionados más abajo).

Conformidad
  • Certificado CE
  • NRTL o CSA certificación está disponible a un costo adicional ($ 3500.00 para el horno SOLAMENTE).
  • El generador de plasma SÓLO tiene certificación CE

Notas de aplicación

Haga clic aquí para aprender la instalación de un regulador de gas
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