MTI | SKU: OTF1200XSDFSL50

Horno de doble tubo deslizante de 1200C máx. con bridas de tubo de 50 mm para TCVD - OTF-1200X-S-50-DFSL

Name: Horno de doble tubo deslizante de 1200C máx. con bridas de tubo de 50 mm para TCVD - OTF-1200X-S-50-DFSL
Brand: MTI
SKU: OTF1200XSDFSL50
Availability: InStock

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MTI

OTF-1200X-S-50-DFSL es un horno de doble deslizamiento sobre raíl. Es una herramienta para CVD térmico contubo y bridas de cuarzo de 2" ODx55" L y una temperatura detrabajo máxima alcanzable de 1200°C. Se pueden deslizar dos hornos tubulares de 2" sobre el raíl deslizante para encontrar posiciones para la evaporación/sublimación térmica de materiales fuente y la deposición de películas. Deslizando el horno de un lado a otro se pueden alcanzar velocidades máximas de calentamiento y enfriamiento de hasta 100°C/min. El deslizamiento motorizado opcional, el suministro de gas MFC y el generador de plasma RF están disponibles para construir fácilmente un sistema TCVD flexible a bajo coste.

ESPECIFICACIONES

Estructura del horno

Ambos hornos son estructuras de acero de doble capa con 1200°Cde temperaturamáxima de trabajo
Cada horno tiene una zona de calentamiento de 200 mm y una zona de temperatura constante de 60 mm de longitud
Un par de raíles deslizantes están instalados en la parte inferior del horno, lo que permite que el horno sea manualmente desplazarse manualmente de un lado a otro con una distancia máxima de deslizamiento de 400 mm.
Las bridas de vacío están instaladas para su uso inmediato.

Potencia del horno

CA 208-240 V monofásica, 50/60 Hz, requiere disyuntor de 20 A
2,5 KW en total

Máx. Temperatura

1200°C (<1 hora)

Temperatura continua

1100°C

Tasas de calentamiento y enfriamiento

Tasa de calefacción:

15°C/seg (RT - 150°C);

10°C/seg (150°C - 250°C);

7°C/seg (250°C - 350°C);

4°C/seg (350°C - 500°C);

3°C/seg (350°C - 550°C);

2°C/seg (550°C - 650°C);
1°C/seg (650°C - 800°C);
0,5°C/seg (800°C - 1000°C);

Velocidad de enfriamiento:

15°C/seg (1000 - 950°C);

10°C/seg (950°C - 900°C);

7°C/seg (900°C - 850°C);

4°C/seg (850°C - 750°C);

2°C/seg (750°C - 600°C);
1,5°C/seg (600°C - 500°C);
1°C/seg (500°C - 400°C);
0,5°C/seg (400°C - 300°C);

Nota:
La velocidad máxima de calentamiento y enfriamiento se consigue precalentando un lado del tubo de procesamiento a la temperatura objetivo y deslizando después el horno hacia el otro lado. Puede optar por colocar o no la muestra en la zona de precalentamiento.

Longitud de la zona de calentamiento

200mm( ~8") para cada horno

Zona de temperatura constante

60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)

Elementos calefactores

Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo

Tamaño del tubo de procesamiento

Tubo de cuarzo fundido de alta pureza

Tamaño: 50 mm D.E. x 44 mm D.I. x1500 mm Longitud
Opcional: S310 tubo de aleación de alta temperatura está disponible para una mayor presión ( 100 PSI ) en el costo adicional

Controlador de temperatura

Dos hornos con control automático PID con 30 segmentos programables para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia.
La alarma de sobretemperatura y la protección incorporadas permiten el funcionamiento sin operario.
TSe incluyen dos pares térmicos de tipo K.
Opcional:

El horno puede manejarse mediante un PC instalando un módulo de control. Pida un módulo de control módulo de control MTS-02 con un coste adicional.
Le recomendamos que nos encargue un ordenador (portátil) para evitar problemas de instalación del software. Para más información, haga clic aquí

Precisión de la temperatura

+/ - 1°C

Bridas de vacío

Las bridas de vacío de acero inoxidable con vacuómetro (haga clic en la imagen inferior izquierda para ver los detalles) se instalan en ambos extremos del tubo con un soporte resistente. (Fig. 1
La brida opcional con un puerto de vacío KF25 y un vacuómetro digital está disponible con un coste adicional. ( haga clic en la imagen 2), y brida de agua fría (imagen 3)
Fig. 1 Foto 2 Foto. 3

Raíles deslizantes / Mesa

Carril de deslizamiento doble de acero cromado
Longitud de deslizamiento: 1200 mm
Se incluyen dos abrazaderas con tope deslizante para sujetar la posición de los hornos.

Nivel de vacío

Limitado por la bomba ( la bomba no está incluida, haga clic en las imágenes para pedirla )

10E-5 torr se puede alcanzar mediante bomba molecular
10E-2 torr mediante bomba mecánica.

Opcional para actualización

Deslizamiento motorizado disponible bajo pedido ( haga clic en la imagen inferior izquierda )- (Foto 1)
1-9 canales de mezcla de gas y modelos de entrega está disponible ( haga clic en la imagen 2 en la parte inferior para ordenar )
Generador de plasma RF de 100W - 500W para el procesamiento de plasma mejorado está disponible bajo petición ( haga clic en la imagen 3 para ver los detalles ). Este módulo le permite construir su propio sistema de CVD térmico mejorado por plasma (imagen 4).
Usted puede necesitar una trampa fría para condensar el gas de escape (Foto 5)