Estructura del horno
| - El horno, dos controladores de temperatura y los caudalímetros de gas de dos canales están integrados en un bastidor móvil de aleación de aluminio.
- La cámara está hecha de tubo de cuarzo fundido de alta pureza con unas dimensiones de 11" de diámetro exterior/10,8" de diámetro interior x 9" de altura.
- Las bridas de vacío son de acero inoxidable 316 y se elevan mediante un motor eléctrico.
- Dos IR de 5 "x5 Las placas calefactoras y la distancia entre ellas son ajustables.
- El portamuestras superior puede girar a una velocidad de 0 - 7 RPM.
|
| | - La brida superior con un puerto de vacío KFD-25 y una salida de gas (se requiere tubo de 1/4") puede deslizarse hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar sustrato y material evaporado con facilidad.
- La brida inferior tiene un puerto de vacío KFD-25 y una entrada de gas (se requiere tubería de 1/4") con válvulas de aguja.
- La brida está sellada con juntas tóricas dobles de silicona y puede alcanzar una presión de vacío máxima de 10E-2 Torr con una bomba mecánica de calidad y de 10E-5 Torr con una bomba mecánica de calidad. con una bomba mecánica de calidad y de 10E-5 Torr con una bomba molecular (bomba de vacío no incluida, pedir por separado).
- En la brida superior hay instalado un vacuómetro digital.
- El vacuómetro digital de precisión anticorrosión está en el paquete estándar(Desde 2016.03.24).
|
Calentador y portamuestras
| - Dos calentadores controlados independientemente con un manualmente separación ajustable de 2 a 30 mm.
- 20 piezas Las lámparas halógenas se utilizan como elemento calefactor para el procesamiento térmico rápido.
- Los calentadores están fabricados en acero inoxidable con una camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y son capaces de enfriarse rápidamente.
- El soporte circular para obleas de 5" de diámetro está incorporado en el calentador superior para sujetar el sustrato.
- Se incluye un juego de placas de AlN de alta conductividad térmica (5" Dia. x 0,5mm Grosor) (colocar en la parte posterior del sustrato para que se caliente uniformemente).
- Se incluye un enfriador de agua circulante de 58L/min para ahorrar agua (haga clic en la imagen de abajo para ver las especificaciones detalladas).
- El portamuestras superior puede girar a una velocidad ajustable de 0 a 7 RPM.
    |
Controlador de temperatura
| - Dos controladores digitales de temperatura de precisión con 30 segmentos programables ofrecen un control independiente de los calentadores superior e inferior.
- Cada controlador dispone de una función de autoajuste PID para proteger los calentadores contra el sobrecalentamiento y una función de alarma para evitar que el sobrecalentamiento dañe los pares térmicos.
- La interfaz de comunicación con el PC y el software están instalados para (haga clic en la imagen de abajo para más detalles) registrar el perfil de temperatura que se muestra a continuación.
-
   |
Temperatura de trabajo
| - La temperatura máxima para cada calentador: ? 800ºC.
- La diferencia máxima de temperatura entre los dos calentadores: ? 300ºC depende de la separación entre los dos calentadores:
- Separación 30mm Diferencia máxima de temp: 315ºC sólo en la parte inferior del calentador
|
| Velocidad de calentamiento y enfriamiento | - Calentamiento < 8ºC/s ( calentando solo calentador )
- Enfriamiento: < 10ºC/s (600 - 100ºC) Máx.
|
| Pareja térmica | Se instalan dos pares térmicos de tipo K en los calefactores superior e inferior por separado. |
| Tensión de trabajo | 208 - 240VAC, monofásico, disyuntor de 50A |
| Potencia requerida | 10 KW en total |
Dimensiones
|  ( haga clic en la imagen para ver las dimensiones ) |
Peso y dimensiones del envío
| - Dos palets: 525 lbs y 48" x 40" x 87" y 165 lbs con dimensión 39x31x29
|
Opcional
| - Se requiere una bomba de vacío. Pídala por separado haciendo clic en la primera imagen de la izquierda. El nivel de vacío puede alcanzar ? 10E-2 torr con una bomba mecánica.
- Si utiliza gas corrosivo, por favor utilice una trampa fría o una bomba seca anticorrosiva como en las imágenes 2-3 con coste adicional.
- Puede elegir un sistema digital de suministro de gas MFC haciendo clic en la primera imagen de la derecha.
    |
| Garantía | Un año limitada con soporte de por vida ( Piezas consumibles como tubos de cuarzo y lámparas de calentamiento no están cubiertos por la garantía). |
| Conformidad | - Certificado CE
- UL / MET / CSA Certification is available upon request, additional charges will apply.
|
| Instrucciones de uso |  
|
Notas de aplicación y advertencias
| - Los hornos tubulares con tubos de cuarzo están diseñados para su uso en vacío y a baja presión < 0,2 bares / 3 psi / 0,02 Mpa. Las presiones de vacío sólo pueden utilizarse con seguridad hasta 1000°C. El caudal de gases debe limitarse a < 200 SCCM (o 200 ml/min) para reducir los choques térmicos en el tubo.
- Atención: Debe instalarse un regulador de presión de dos etapas en la botella de gas para limitar la presión por debajo de 3 PSI para un funcionamiento seguro. Haga clic aquí para conocer la instalación de un regulador de gas.
- El soporte de pie de este horno está diseñado para el transporte de corta distancia en la superficie plana (sin hoyos o baches)
|
Referencias
(Haga clic a la derecha para ver los artículos relacionados) | |
