MTI  |  SKU: OTF-1200X-4-RTP

Horno RTP compacto controlado por atmósfera con tubo de cuarzo de 4" de diámetro interior hasta 1100°C - OTF-1200X-4-RTP

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Horno RTP compacto controlado por atmósfera con tubo de cuarzo de 4" de diámetro interior hasta 1100°C - OTF-1200X-4-RTP

MTI

El OTF-1200X-RTP-4 es un horno tubular compacto de procesado térmico rápido con un tubo de cuarzo de procesado de 4" de diámetro interior y bridas de vacío. Está diseñado para el recocido de obleas semiconductoras o células solares con diámetros de hasta 3". OTF-1200X-4-RTP se calienta mediante 8 unidades de luz halógena de 1KW con una velocidad máxima de calentamiento de 50ºC/segundo. El controlador de temperatura de precisión de 30 segmentos con una exactitud de +/-1ºC está incorporado en el horno para permitir el calentamiento, morada y enfriamiento en varios pasos. El puerto RS485 y el software de control están incluidos para hacer posible la monitorización del perfil de temperatura a través del PC mientras el horno funciona simultáneamente. Este horno también puede modificarse para convertirlo en un horno RTE, CSS o HPCVD (véase la nota de aplicación a continuación).
ESPECIFICACIONES
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Estructura del horno
  • La carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire mantiene la temperatura de la superficie del horno por debajo de 60°C.
  • Aislamiento de alúmina fibrosa de alta pureza para un máximo ahorro de energía.
  • Cubierta dividida con Protección de interbloqueo, corta la alimentación si se abre la tapa durante el proceso de calentamiento del horno.

Entrada de alimentación

208-240 CA, 50/60 Hz monofásica, 9 KW máx. (requiere disyuntor de 60 A)


Elementos calefactores

  • 8 piezas 1Kw Tubo de luz halógena, ( Dia. =10mm, L=300mm, Longitud calentada =200mm)
  • Vida útil estándar: 2000 horas ( depende de la velocidad de calentamiento )
  • El tubo de luz halógena es consumible. Haga clic en la imagen de la izquierda para pedir uno de repuesto

Zona de calentamiento

12" de longitud con 4" de zona de temperatura constante con una uniformidad de +/-5ºC

Temperatura de trabajo

  • 1100ºC Máx. durante < 10 minutos
  • 1000ºC Máx. durante < 20 minutos ( Nota: si funciona durante más tiempo, la carcasa del horno superará los 100°C, debe utilizar un ventilador para enfriar la carcasa del horno desde el exterior)
  • 800ºC Máx. durante < 120 minutos
  • 600ºC Máx. en continuo

Máx. Velocidad de calentamiento

50ºC/seg

Velocidad de enfriamiento

  • Máx. Enfriamiento 60ºC/min (Bajo vacío: 200 m-torr), 117ºC/min (bajo presión atmosférica)
  • Enfriamiento Mínimo: 10 ºC / minuto

Termopar

Tipo K, la cabeza del termopar toca el portamuestras de nitruro de aluminio por debajo

Controlador de temperatura

  • Se incluye el controlador de temperaturaFA-YD808P-AG.
  • Control proporcional-integral-derivativo (control PID) y función de autoajuste
  • 30 segmentos programados con pasos de rampa, enfriamiento y vivienda
  • Alarma de sobretemperatura incorporada y alarma de fallo de termopar
  • Precisión de control de temperatura de +/- 1 ºC
  • Puerto de comunicación con PC DB9 predeterminado

Controlador de temperatura (opcional)

Tubo de cuarzo y portamuestras

Brida de vacío

  • La brida de alto vacío KF-D25 está fabricada en acero inoxidable con juntas tóricas dobles de silicona de alta temperatura, válvulas de aguja y camisa de refrigeración por agua.
  • Sólo requiere refrigeración por agua en tiempos de funcionamiento prolongado a temperaturas > 600oC.
  • Caudal de agua circulante: 0,5m3 /hr.
  • La brida deslizante facilita la carga y descarga de las muestras y otros procesos específicos necesarios.
  • Acoplamiento térmico insertable para una medición precisa.

Bomba de vacío (opcional)

  • Se recomienda la bomba de vacío EQ-FYP para este horno. La presión de vacío máxima en este sistema puede ser de 10^-3 torr. Los fuelles de vacío y las abrazaderas se incluyen en este paquete. Haga clic aquí para ver las especificaciones de la bomba de vacío EQ-FYP.
  • Haga clicaquí para ver otros modelos de bombas y paquetes.

Refrigeración por agua (opcional)

  • Se requiere agua de refrigeración.
  • Asegúrese de que el caudal de agua de refrigeración es ? 10L/min, temperatura del agua < 25ºC; pressure > 25 PSI.
  • Sugerimos usar el enfriador de agua de recirculación de la serie EQ-KJ5000como sistema de enfriamiento (por favor pídalo por separado en productos relacionados más abajo) para ahorrar agua.
  • Advertencia: El tiempo máximo de permanencia de este horno RTP debe ser inferior a 600 segundos a 1000ºC ~ 1100ºC con agua del grifo, de lo contrario, la junta tórica puede fundirse.

Medidor de flujo

Un medidor de flujo está instalado en el panel frontal para ajustar el flujo de gas de 16 - 160 ml/min.

Vacuómetro

En el horno hay instalado un vacuómetro digital con un rango de medición de 10-4 a 1000 Torr.

Presión de vacío y conexión de gas

  • La presión puede alcanzar 50 más utilizando una bomba de vacío mecánica con adaptador KF25
  • La presión puede alcanzar 10-4 torr mediante la bomba molecular con adaptador KF25

Dimensiones

  • Brida cerrada 1350mm(L) x 330mm(An) x 590mm(Al)
  • Brida abierta: 1350mm(L) x 520mm(An) x 740mm(Al)

Peso neto

70 kg (150 lbs)

Peso y dimensiones del envío

  • 220 kg
  • 47 "x39 "x40" pulgadas

Garantía

Un año de garantía limitada del fabricante con soporte de por vida (Las piezas consumibles como tubos de procesamiento, juntas tóricas y lámparas halógenas no están cubiertas por la garantía, por favor pida repuestos en los productos relacionados a continuación).