Revestidor para pulverización catódica por plasma en guantera con 3 cabezales de pulverización catódica y fuentes de alimentación RF/DC - VTC-600-3HD-GB

Alimentación

• 208-240 VCA, monofásica, 50/60 Hz, 1500 W

Caja de guantes VGB-6

• Sistema de purificación de alta calidad que garantiza O2 y H2O por debajo de 1 PPM
• Cámara de acero inoxidable, 1200 mm de largo x 740 mm de ancho x 900 mm de alto
• Puerta frontal abatible para cargar fácilmente dispositivos y muestras
• Purga automática para evacuar el aire antes de la purificación por recirculación
• Función de regeneración automática
• Dos antecámaras para la entrega de muestras grandes y pequeñas
  

• Tres fuentes de alimentación para sputtering
  • Dosfuentes DC: 500 W de potencia para el recubrimiento de materiales metálicos
  • Unafuente de RF : 300 W de potencia, frecuencia de 13,56 MHz para el recubrimiento de materiales no conductores

Cabezal de magnetrón para sputtering

• Tres cabezales de sputtering de magnetrón de 2" con camisas de refrigeración por agua y obturadores.
  • Dos están conectados a fuentes de corriente continua para materiales metálicos
  • Uno está conectado a la fuente de RF para materiales no conductores.
  • Tamaño del cátodo: 2" de diámetro con un espesor de 0,1 - 5 mm
    
  • Los cátodos para sputtering son opcionales
  • Receta recomendada para sputtering y consejos útiles
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Cámara de vacío

• Cámara de vacío de acero inoxidable: Ø300 × 300 mm H
• Un puerto de visión de vidrio de 100 mm.
• Brida superior abatible para facilitar el acceso a las muestras
• A continuación se muestra una vista general de la cámara de vacío
  
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Etapa de muestra

• Etapa de muestra giratoria y calefactora de Ø140 mm hasta 500°C
• Velocidad de rotación: 1 - 20 rpm
• Controlador de temperatura programable de un punto
  

Control de gas y caudal

• Doscontroladores de caudal másico (MFC)
• Caudal 0 - 200 sccm
• nitrógeno calibrado
• Puerto de ventilación de 1/4".

Estación de bombeo de vacío

(Opcional)

• Para objetivos sensibles al aire, como Al, Ti, Cr, etc, o presión base <1e-2 torr, se recomienda una estación de bombeo
• Bomba turbo .
  • Bomba turbomolecular de 63 L/s, o
  • Bomba turbomolecular de 260 L/s
• Bomba de paletas
  • Bomba rotativa de paletas de 240 L/min, o
  • bomba scroll seca de 200 L/min
    

Refrigerador de agua

(Opcional)

• Se requiere agua refrigerada
• Se recomienda unenfriador de agua de recirculación digital con control de temperatura
• Rango de refrigeración: 5~35 °C
• Caudal 16 L/min
• Presión de la bomba: 14 psi

Medición del espesor de la película

(Opcional)

• La microbalanza de cristal de cuarzo para la medición in situ del espesor de la película es opcional. Precisión de hasta 1Å

Conformidad

• Aprobación CE
• La certificación NRTL está disponible bajo petición con un coste adicional, póngase en contacto con nuestro representante de ventas para obtener el presupuesto.