MTI  |  SKU: VTC16D

Recubridora compacta de sputtering por magnetrón CC con cátodo de oro para recubrimiento de metales nobles-VTC-16-D

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Recubridora compacta de sputtering por magnetrón CC con cátodo de oro para recubrimiento de metales nobles-VTC-16-D

MTI

VTC-16-D es un recubridor de sobremesa para sputtering por magnetrón con cabezal de 2" y portamuestras de altura ajustable. Está diseñado para el recubrimiento de películas finas de metales nobles (Au, Ag, Pt), especialmente para el recubrimiento película conductora de oro sobre muestras SEM. Se incluye un blanco de oro (4N) de 2". Para la pulverización catódica de metales activos, como Al, Mg, Zn o carbono, considere el recubridor de pulverización catódica de magnetrón de alta potencia o el recubridor de evaporación térmica.

ESPECIFICACIONES
Características
  • Equipo compacto para sputtering por magnetrón, para el recubrimiento de películas conductoras de metales nobles sobre muestras de SEM (Au, Ag, Pt)
  • Incluye un blanco de oro (4N) de 2".
Alimentación
Cabezal de pulverización catódica
  • Diámetro de 2
  • 500 VDC
  • 0 - 50 mA (máx.) de corriente de sputtering ajustable
  • Protección contra sobrecorriente
  • Obturador manual para la limpieza previa al sputtering.
Tiempo de sputtering
  • 1 -120 segundos ajustable
Cámara de vacío
  • Tubo de vidrio de cuarzo, 165 mm de diámetro exterior x 150 mm de diámetro interior x 150 mm de altura
  • Haga clic aquí para pedir la cámara de cuarzo de repuesto.
  • Puerto KF25 para bomba de vacío.
  • La presión final es de aproximadamente 1 Pa mediante una bomba mecánica. (la bomba de vacío es opcional)
Vacuómetro Pirani

  • Alcance 1e-4 - 1000mbar (1e-4 - 750 torr)
  • Precisión:
    • 1000 - 20mbar, 3% de la lectura
    • 20 - 0,002mbar, 2% de la lectura
  • Repetibilidad: 2% de la lectura
Etapa de muestreo
  • 2" de diámetro
  • altura ajustable, 25 - 70 mm de la muestra al objetivo
Bomba de vacío (opcional)

  • Se recomienda la bomba rotativa de paletas de doble etapa EQ-FYP.
  • También hay disponible una turbobomba para alcanzar 1,0E-5 Torr.
Entrada de gas
  • Un accesorio de tubo de compresión de 1/4" como entrada de gas.
  • Una válvula de fugas para ajustar la tasa de fugas de gas Ar.
Blanco
Dimensiones y peso del producto
  • 500 mm (largo) × 350 mm (ancho) × 550 mm (alto)
  • 20 kg
Peso y dimensiones de envío
  • 80 libras
  • 45" x 45" x 40"
Instrucciones de uso
Conformidad
  • Certificado CE
  • La certificación NRTL NO está disponible temporalmente.
Garantía
  • Garantía limitada de un año. Los consumibles no están cubiertos.
Notas de aplicación
  • Para utilizar el recubridor para sputtering dentro de la caja de guantes, el controlador y la base del recubridor estarán separados. (Fig.1)
  • Para metales activos, tales como Al, Mg, Zn, o Carbono, por favor considere nuestro recubridor de sputtering magnetrónico de alta potencia (Foto 2) o recubridor de evaporación térmica. (Foto 3)
  • Foto. 1 Foto. 2 Foto. 3