Recubridora de capa fina 2 en 1: Magnetrones Sputtering y Evaporación Térmica - VTC-1RF-SPC

• Monofásica 220 VAC+/- 10%, 50 / 60 Hz
• 4200 W (incluyendo bomba de vacío y enfriador de agua)

• Se incluye un cabezal de sputter magnetrón de 1" con un conector rápido de alto vacío. El cabezal está hecho de sputtering de abajo hacia arriba ( Por favor haga click en la imagen de la izquierda )
• La distancia entre el cabezal de sputtering y la platina de muestra es ajustable de 60 a 100 mm
• Una placa deflectora giratoria manualmente se encuentra entre el cabezal de sputtering y la platina de muestra para evitar la contaminación.
• Se incluye una fuente de alimentación para sputtering. Puede elegir entre fuente de CC o de RF en función de los materiales objetivo:

• Fuente DC: 500 W de potencia para el recubrimiento de materiales metálicos (Foto 1)
• Fuente RF: 300 W de potencia, 13,56 MHz de frecuencia para el recubrimiento de materiales no conductores (Foto 2)

Evaporación térmica

• Una fuente de evaporación está instalada en el fondo de la cámara de vacío
• La bobina de calentamiento de tungsteno está construida en un crisol de alúmina.
• El crisol SS316 está disponible bajo pedido para la evaporación de Li-metal.
• Un par térmico tipo S está instalado en el fondo del crisol
• La temperatura máxima de evaporación es de 1350oC
• La temperatura se controla con precisión mediante un controlador de temperatura programable en un panel de pantalla táctil.

Cámara de vacío

• Cámara de vacío: 250 mm de diámetro x 360 mm de altura, fabricada en acero inoxidable
• Ventana de visualización
• Cristal de cuarzo de 100 mm de diámetro con sellado al vacío
• La brida superior de la cámara puede moverse hacia arriba y hacia abajo mediante un motor eléctrico para cargar la muestra
• El rotatorio y el portamuestras calefactable se instala en la brida superior
• Tamaño del portamuestras: 100 mm
• La temperatura de calentamiento del portamuestras 700oC Max ±3. con 30 segmentos programables
• La turbobomba (incluida) está conectada directamente a la cámara a través de una brida KF60 con una válvula de compuerta
• eléctrica Los electrodos de evaporación pasan a través de la brida KF63
• Se ha incorporado una brida KF35 para instalar un dispositivo opcional de medición del grosor de la película
• Se incluyen válvulas y puertos de entrada y salida de
• gas Nivel de vacío máximo: 8x10-6 torr en estado frío )

• Se incluye un enfriador digital de agua de recirculación con control de temperatura. (Haga clic en la imagen para ver los detalles)
• Rango de refrigeración: 5~35 °C
• Caudal: 16 L/min
• Presión de la bomba: 14 psi

• Panel de pantalla táctil en color de 7" instalado para controlar
• Temperatura de evaporación
• Temperatura y velocidad de rotación de la etapa de muestreo
• Encendido/apagado de la bomba de vacío y visualización del nivel de vacío
• Encendido/apagado de la válvula de vacío

• Monito de espesor de película de cuarzo de precisión es opcional, que puede ser en la cámara para controlar el espesor de recubrimiento con una precisión de 0,10 Å
• Sistemas de precisión para el análisis de películas finas y revestimientos - TFMS-LD disponible con coste adicional

Conformidad

• Aprobación CE
• La certificación NRTL está disponible bajo petición con coste adicional, por favor contacte con nuestro representante de ventas para el presupuesto.