Sistema de evaporación térmica para obleas de 2" con 4 fuentes y un controlador de temperatura - GSL-1700X-EV4

• Cámara de cuarzo de 280 mm de diámetro exterior x 260 mm de diámetro interior x 310 mm de altura para facilitar la limpieza y la carga de muestras
• Portamuestras giratorio de 2" de diámetro para un recubrimiento uniforme de la película
• Calentador de bobina de tungsteno y crisol de alúmina para un recubrimiento a alta temperatura de hasta 1700 ºC
• Control de temperatura de precisión con 30 segmentos programables y una exactitud de +/- 1 ºC
• Se puede alcanzar un alto vacío de hasta 1,0E-5 Torr mediante una turbobomba opcional
• El puerto de flujo de gas y la válvula están incorporados para la purga de la cámara y la posibilidad de CVD

• Tensión de entrada CA 208 - 240 V 50/60 Hz, monofásica ( 110 V CA disponible mediante transformador de 1.500 W )
• Potencia de entrada: 1.200 W
• Potencia de salida:: 12 V, y 30 A de corriente máxima. Corriente de trabajo recomendada <30 A
• Cable de alimentación incluido sin enchufe

• Cuatro crisoles de evaporación de alúmina con 3 ml de capacidad cada uno. Se pueden calentar cuatro fuentes una a una para conseguir un recubrimiento multicapa
• Un calentador de bobina de tungsteno con un termopar está incorporado en la parte inferior del crisol de alúmina (para el control de la temperatura.
• 4 termopares tipo S (instalados en cada crisol) - calentamiento de 200 ºC - 1500 ºC (PIC. 2)
• Termopar tipo B opcional (con coste adicional) - calentamiento de 1200 ºC - 1700 ºC
• Un controlador digital de temperatura con 30 segmentos programables y +/- 1 ºC de precisión (PIC. 3)
• Se recomienda limitar la velocidad de calentamiento/enfriamiento de la temperatura a 0,3 ºC/s (o 20 ºC/min) por debajo de 1200 ºC, y limitarla a 0,15 ºC/s (o 10 ºC/min) de 1200 - 1700 ºC
• Para un calentamiento continuo por encima de 1300 ºC, limite el tiempo de funcionamiento a menos de 1 hora para preservar la vida útil de la junta tórica de la brida inferior.
• Para un recubrimiento rápido hasta 2000 ºC, el usuario puede retirar el termopar, el bloque térmico de alúmina y el crisol de alúmina, cargar el material de evaporación directamente en el calentador de bobina de tungsteno y utilizar el modo de control manual actual (PIC. 3)
• Se incluyen cuatro crisoles de alúmina (hasta 1700 ºC) y dos calentadores de bobina de tungsteno. Consulte la sección Opcional para solicitar piezas de repuesto.

• En la brida superior se instala una platina giratoria para muestras de 2" de diámetro y su obturador para el recubrimiento de obleas de 2".
• Velocidad de rotación: 5 rpm
• La distancia del portamuestras a la fuente de evaporación es ajustable de 40 mm a 85 mm
• Haga clic aquí para saber cómo ajustar la posición de la platina de muestra.

• Sistema de precisión para el análisis de películas finas y revestimientos - TFMS-LD está disponible con un coste adicional, haga clic en la imagen 1 para obtener más información.

• El puerto de vacío KF25 se instala para conectarse a una bomba de vacío
• El vacío puede alcanzar <1E-5 Torr bombeando durante la noche con la Turbo-bomba opcional
• Se requiere una bomba de vacío para el revestimiento. Elija entre las siguientes opciones de producto
• Bomba de vacío de paletas rotativas de doble etapa con trampa de vapor para eliminar la neblina de aceite, que puede alcanzar un vacío de hasta 1,0E-2 Torr para evaporar materiales metálicos nobles, como oro, plata y materiales orgánicos. Se incluye unmedidor de diafragma de capacitancia anticorrosivo.
• El sistema compacto de bomba de vacío turbomolecular es capaz de proporcionar un nivel de vacío de hasta 1,0E-5 Torr para evaporar materiales sensibles al oxígeno, como Al. Mg, Li, etc. La bomba incluye un medidor Pirani combinado con un medidor de cátodo frío para medir el vacío hasta 1,0E-8 Torr.

• Se ha incorporado un racor de 1/4 para purgar la cámara o procesar el gas de conformación.
• Incorpora una válvula de aguja para controlar el caudal de gas

• Extra el crisol de alúmina y el calentador de bobina de tungsteno se pueden pedir a MTI con un coste adicional (Haga clic en las imágenes de abajo)

• Certificado CE
• Certificación NRTL y CSA disponible bajo pedido

• Para conseguir el alto vacío necesario para la evaporación de algunos materiales, los usuarios pueden
• Comprobar que la cámara, la junta tórica y la brida no tengan ninguna partícula, fibra o arañazo. Utilizar un pañuelo de papel sin pelusa humedecido con alcohol isopropílico (IPA) para limpiar la superficie
• Utilice cinta calefactora para hornear la cámara a 150 ºC y precaliente el calentador de la bobina y el crisol a 500 ºC mientras bombea con la turbobomba opcional durante al menos 2 horas
• Bombear la cámara durante la noche sin calentarla si se necesita un vacío superior a 1,0E-5 Torr
• NO libere el vacío ni deje de bombear cuando la torre de laca esté en proceso de evaporación. Durante el enfriamiento del calentador, deje de bombear o de liberar el vacío SÓLO cuando la temperatura descienda por debajo de 100 ºC.

SPC2-ARSC