Estructura y características
 | - Cámara de cuarzo de 6" de diámetro exterior x 10" de altura para facilitar la limpieza y la carga de muestras
- Portamuestras giratorio de 2" de diámetro para un recubrimiento uniforme de la película
- Calentador de bobina de tungsteno y crisol de alúmina para un recubrimiento a alta temperatura de hasta 1700 ºC
- Control de temperatura de precisión con 30 segmentos programables y una exactitud de +/- 1 ºC
- El alto vacío puede alcanzarse hasta 1,0E-5 Torr mediante una turbobomba opcional
- El puerto de flujo de gas y la válvula están incorporados para la purga de la cámara y la posibilidad de CVD
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| Potencia de entrada | |
Control de temperatura y calentadores
| - Un calentador de bobina de tungsteno con un tipo B de termopar y crisol de alúmina se construye en la parte inferior de la cámara de vacío. (Fig. 1 )
- Un controlador digital de temperatura con 30 segmentos programables y una precisión de +/- 1 ºC (PIC. 2)
- Se recomienda limitar la velocidad de calentamiento/enfriamiento a 0,3 ºC/s por debajo de 1200 ºC, y limitarla a 0,15 ºC/s de 1200 - 1700 ºC.
- Para el recubrimiento rápido hasta 2000 ºC, como el recubrimiento de Carbono, Au y Cu, el usuario puede retirar el termopar, el bloque térmico de alúmina y el crisol de alúmina, y cargar el material de evaporación directamente en el calentador de bobina de tungsteno. (PIC.3)
- Nota: Debido a la retirada del termopar, las lecturas de temperatura, la alarma de alta temperatura y el progreso del calentamiento no están disponibles. Los operadores tienen que usar sus ojos para evaluar la temperatura basándose en el cambio de color del filamento calefactor.
- Después de ajustar todos los pasos, controle manualmente el interruptor Amp(mA) basándose en el medidor de corriente de evaporación (PIC.4)
- Se incluyen cuatro crisoles de alúmina (hasta 1700 ºC) y dos calentadores de bobina de tungsteno. Consulte la sección Opcionales para solicitar piezas de repuesto.
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 PIC 1  PIC 2  PIC 3  PIC 4 |
Soporte de muestras
 | - En la brida superior se instalan una platina giratoria para muestras de 50 mm de diámetro y un obturador.
- Velocidad de rotación: 5 rpm
- La distancia entre el portamuestras y la fuente de evaporación puede ajustarse entre 40 mm y 85 mm.
- Haga clic aquí para saber cómo ajustar la posición de la platina de muestras.
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| Monitor de espesor de película (opcional) | - El sensor de espesor de cuarzo de precisión es opcional, haga clic en las imágenes 1 y 2 para obtener más información. Puede incorporarse a la cámara para proporcionar un control instantáneo del espesor de la película con una precisión de 0,10 Å. La unidad de visualización LED situada fuera de la cámara puede:
- Introducir información sobre el material de recubrimiento a partir de la base de datos incluida
- Visualizar el espesor total del revestimiento y la velocidad de revestimiento
- Precision Thin Film & Coating Analysis Systems - EQ-TFMS-LD está disponible a un costo adicional, por favor haga clic en pic.2
 Pic.1  Foto 2  Foto 3 |
Vacío
  | - El puerto de vacío del KF25 está instalado para conectarse a una bomba de vacío.
- El vacío más alto puede alcanzar <4,0E-6 Torr bombeando durante la noche con la bomba turbomolecular opcional
- Se requiere una bomba de vacío para el recubrimiento. Elija entre las siguientes opciones de producto
- Se incluye un medidor de diafragma de capacitancia anticorrosiva para un vacío de hasta 1,0E-6 Torr Pic.1
- Una bomba de vacío es opcional. Por favor, haga clic en Pic. 2 o 3 para pedir la bomba de vacío de paletas rotativas de doble etapa ( 10-2 torr) o la turbobomba ( 10-5 torr)
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 Foto. 1  Foto. 2  Foto 3 |
| Entrada de gas | - 1/4 accesorio de tubo está incorporado para la purga de la cámara o la formación de procesamiento de gas
- Una válvula de aguja está incorporada para controlar el flujo de gas
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| Opcional | - Crisol de alúmina extra y calentador de bobina de tungsteno se puede pedir en MTI a un costo adicional. (Haga clic en las imágenes siguientes). Crisol W recubierto de alúmina opcional y barco W está disponible bajo petición ( ver abajo a la derecha pic)
- Un total de 4 crisoles fuentes de evaporación podría ser utilizado para depositar múltiples materiales diferentes para crecer multicapas uno por uno en la misma atmósfera de la cámara.
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  (opcional) |
Dimensión de la cámara de cuarzo
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Conformidad
| - Certificado CE
- Certificación NRTL o CSA disponible bajo pedido
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Notas de aplicación
 | - Para conseguir el alto vacío necesario para la evaporación de algunos materiales, el usuario puede
- Comprobar la cámara, la junta tórica y la brida para detectar cualquier partícula, fibra o arañazo.
- Utilizar
- un pañuelo de papel sin pelusa humedecido con alcohol isopropílico (IPA) para limpiar la superficie
- Utilizar cinta calefactora para hornear la cámara a 150 ºC y precalentar el calentador de la bobina y el crisol a 500 ºC mientras se bombea con la turbobomba opcional durante al menos 2 horas
- Bombear la cámara durante la noche sin calentar si se produce vacío superior a 1,0E-5 Torr
- El recubridor puede colocarse en una caja de guantes de gas Ar o N2 para la evaporación térmica de materiales sensibles a la humedad y al oxígeno, como el metal Li. Haga clic en la imagen de la izquierda para ver una demostración en la caja de guantes VGB-6OP de MTI ( Si tiene cajas de guantes de otras marcas, puede que necesite un pasamuros de KF40 para conectar una bomba de vacío al exterior )
- NO inicie el programa de calentamiento ni aumente manualmente la corriente sin una cámara cerrada y sin vacío.
- NO libere el vacío ni deje de bombear cuando la torre de laca esté en proceso de evaporación. Durante el enfriamiento del calentador, deje de bombear o libere el vacío SÓLO cuando la temperatura descienda por debajo de 100 ºC.
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Pic.1 
PIC 3 
