Evaporador térmico de alto vacío de cuatro fuentes con doble fuente10-6 torr - GSL-1800X-ZF4

Potencia de entrada y salida

• Entrada: 208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, monofásica
• Potencia total requerida 5 KW (incluida la bomba)
• otros voltajes trifásicos disponibles bajo pedido
• Salida: 0 - 8VAC máx. y 200A máx. (1600 W máx.)

Cámara de vacío

• Cámara de acero inoxidable: 300 mm de diámetro interior x 360 mm de altura, superficie de pulido electrolítico con chorro de arena
• Ventana de observación de 100 mm delante de la cámara
• Puerta abatible para facilitar la carga de muestras
• Los obturadores de accionamiento eléctrico se encuentran en la parte superior de cada barca W de evaporación, lo que permite evaporar 4 tipos de material de uno en uno
• Un puerto KF40 con válvula de compuerta para conectar directamente la turbobomba DN 100 ISO-K.
• Un puerto KF16 para conectar el vacuómetro
• Seis puertos CF35 para conectar un dispositivo necesario (por ejemplo, monitor de espesor de película)

• Una bomba de vacío turbo de alta velocidad es opcional con coste adicional (haga clic en la imagen de la izquierda para ver las especificaciones )
• Nivel de vacío: 5,^0x10-6 Torr ( tras 40 minutos de bombeo )
• Vacío límite: 5,^0x10-7 Torr ( tras cocción a 100 -150°C)
• Tasa de fuga: 5.^0x10-7 Pa.
• Puerto de vacío: DN 100 ISO-K
• Es mejor instalar una bomba mecánica(YTP-550-LD) en serie para alcanzar inicialmente el nivel de vacío de 3E-3Torr, que es bueno para que las siguientes turbobombas alcancen el nivel de vacío objetivo.

• Se incluyen cuatro botes calefactores de tungsteno soportados por electrodos de agua fría.
• La lancha calefactora de tungsteno tiene unas dimensiones de 70 L x 12 W x 3 H (mm). Hay disponible un bote W de repuesto con coste adicional)
• Cada parte superior del bote tiene un obturador de operación manual
• El obturador manual incorporado permite utilizar la fuente de evaporación sin contaminación
• El portamuestras giratorio de 120 mm de diámetro se encuentra en la parte superior de la cámara con un diámetro de 300 mm,
• La distancia entre la fuente de evaporación y el portamuestras es de 140-200 mm ajustable
• La platina de muestras con función de calentamiento (hasta 500 °C) es opcional y está disponible bajo pedido

• El monitor de espesor de película de alta resolución y el controlador son opcionales (haga clic en la imagen de la izquierda para ver las especificaciones detalladas).
• La precisión del control de espesor es de 1,0 Angstrom.

• El vacío, el espesor y el control de potencia están integrados en una caja de control.
• La unidad de control está separada de la cámara de vacío para facilitar su traslado
• Puede colocar la unidad de control encima de la estación de vacío

Requisitos de la instalación

Certificado