Evaporador en guantera para oblea de 4" con 3 crisoles y control de temperatura - VTC-EV3-GB

• La cámara de vacío de cuarzo (O.D 280 x I.D 260 x H310 mm está instalada en la parte inferior de la caja de guantes para manipular material sensible al aire
• Portamuestras giratorio de 4" de diámetro con altura ajustable de 90 mm para el recubrimiento uniforme de la película
• Calentador de bobina de tungsteno y crisol de alúmina para un recubrimiento a alta temperatura de hasta 1700 ºC
• Control de temperatura de precisión con 30 segmentos programables y una exactitud de +/- 1 ºC
• Se puede alcanzar un alto vacío de hasta 1,0E-5 Torr mediante una turbobomba opcional
• La caja de guantes con sistema de purificación para garantizar que el oxígeno y la humedad sean inferiores a 1 ppm ) haga clic en subrayado para ver las especificaciones detalladas )

• Máquina de revestimiento por evaporación
• Tensión de entrada AC110 V 50/60 Hz, monofásica
• Potencia de entrada: 1.200 W ( sólo torre de laca)
• Potencia de salida:: 12 V, y 30 A de corriente máxima. Corriente de trabajo recomendada <30 A
• Guantera:
• Tensión de entrada: AC110 V 50/60 Hz, monofásica
• Potencia de entrada: 1.500 W ( sólo barnizadora)

• Se incluyen tres crisoles de evaporación de alúmina de 3 ml con bobina de tungsteno
• Las tres fuentes se pueden calentar una a una para conseguir un recubrimiento multicapa
• 3 termopares tipo B (instalados en cada crisol) - calentamiento de 200 ºC - 1700 ºC (PIC. 1-2 )
• Un controlador digital de temperatura con 30 segmentos programables y +/- 1 ºC de precisión (PIC. 2)
• Se recomienda limitar la velocidad de calentamiento/enfriamiento de la temperatura a 0,3 ºC/s (o 20 ºC/min) por debajo de 1200 ºC, y limitarla a 0,15 ºC/s (o 10 ºC/min) de 1200 - 1700 ºC

• En la brida superior se instala una platina de muestra giratoria de 4" de diámetro y su obturador para recubrir una oblea de 4
• Velocidad de rotación: 5 rpm
• La distancia del portamuestras a la fuente de evaporación es ajustable de 40 mm a 90 mm
• Se dispone de un portamuestras de agua con coste adicional ( se requiere enfriador de agua de recirculación )

• Monitor de espesor de película de cuarzo de precisión opcional, que se utiliza para la medición de espesor in situ. Precisión de hasta 1Å (Fig. 1)
• Sistemas de precisión para el análisis de películas finas y revestimientos - TFMS-LD está disponible con un coste adicional, haga clic en la imagen 2 para obtener más detalles.

• El puerto de vacío del KF40 se instala para conectarse a una bomba de vacío
• El vacío puede alcanzar <1E-5 Torr bombeando durante la noche con la Turbo-bomba opcional
• Se requiere una bomba de vacío para el revestimiento. Elija entre las siguientes opciones de producto
• Bomba de vacío de paletas rotativas de doble etapa con trampa de vapor para eliminar la neblina de aceite, que puede alcanzar un vacío de hasta 1,0E-2 Torr para evaporar materiales metálicos nobles, como oro, plata y materiales orgánicos.Se incluye medidor de diafragma de capacitancia anticorrosiva
• El sistema compacto de bomba de vacío turbomolecular es capaz de proporcionar un nivel de vacío de hasta 1,0E-5 Torr para evaporar materiales sensibles al oxígeno, como Al. Mg, Li, etc. La bomba incluye un medidor Pirani combinado con un medidor de cátodo frío para medir el vacío hasta 1,0E-8 Torr.

• Conexión de tubo de 1/4 incorporada para purga de cámara o procesamiento de gas de formación
• Incorpora una válvula de aguja para controlar el caudal de gas

• Crisol de alúmina extra y calentador de bobina de tungsteno pueden ser ordenados por Haga clic en las imágenes de abajo.

• Certificado CE
• Certificación NRTL y CSA disponible bajo pedido

SPC2-ARSC