Espectrómetro de reflectancia para medir espesores de película de 15 nm a 50 um - TFMS-LD

• Medición y análisis en tiempo real: Multicapa, capas finas, gruesas, independientes y no uniformes
• Amplia biblioteca de materiales: Más de 500 materiales
• Soporte de materiales parametrizados: Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA
• Flexible: Sobremesa o in situ, I+D o en línea.
• Medición: Espesor, constantes ópticas, rugosidad superficial
• Fácil de usar y potente: Medición y análisis con un solo clic

• Óxidos (véase el ejemplo de la imagen 1)
• Nitruros
• Fotorresistentes
• Polímeros (véase la imagen 2)
• Semiconductores: Si, aSi, poliSi
• Recubrimientos duros: SiC, DLC
• Recubrimiento de polímero: Paraleno, PMMA, poliamidas
• Recubrimiento metálico fino (< 50 nm de grosor. Véase la imagen 3 como ejemplo)

  Foto 1 - 3 um LiNbO3	Foto 2 - 45 um PET	Foto 3 - 20 nm Cu

• 15 nm - 75 um para materiales no metálicos y translúcidos como los indicados anteriormente
  
• Nota: las películas metálicas sólo pueden medirse con fiabilidad hasta 50 nm; las mediciones con rayos X son necesarias para películas más gruesas.
  

• 400 nm - 1100 nm

• 0,01 nm o 0,01%.

• 0,2% o 1 nm

• 0,02 nm ó 0,03%.

• 2 mm mínimo

• Mínimo 5 mm x 5 mm para una medición fiable

• 2048/4096 píxeles CMOS
• ADC de 16 bits
• Rango de longitud de onda de 400 - 1100 nm
• Resolución espectral < 1 nm
• Potencia 100 -240 VCA, 50/60 Hz, 20 W de potencia
• 

• Lámpara halógena de tungsteno de 5 W
• TC 2800 grados
• Vida útil: 10000 horas

• Fibra óptica, núcleo de fibra de 400 um
• con pata espectrómetro y pata iluminación

• La muestra de película está boca arriba con la sonda y la fuente de luz apuntando hacia abajo
• 

• Conector USB para comunicación con PC
• Se incluye un ordenador portátil nuevo con el software instalado para su uso inmediato

• Amplia biblioteca de valores de índice de refracción (n) y coeficiente de extinción (k) para los materiales de sustrato metálicos, dieléctricos, amorfos y cristalinos más comunes
• Capacidad para analizar pilas de películas sencillas y complejas.
  
• Las herramientas de estimación de errores y simulación permiten tener en cuenta los efectos de las condiciones cambiantes
• Soporte para materiales parametrizados con aproximaciones que representan la dispersión óptica en un rango espectral deseado mediante unos pocos coeficientes que pueden ajustarse
• 

• Control remoto (TCP) basado en el protocolo Modbus con coste adicional

• Se incluyen una referencia de Si desnudo y una oblea de prueba de óxido de silicio de 200 nm de grosor como estándares de película fina para la verificación de la medición del grosor.
• 

Dimensiones

• 205 mm Largo x 250 mm Ancho x 105 mm Alto (8" Largo x10" Ancho x4" Alto)

Peso neto

• 4,5 kg (10 lbs)

Dimensiones de envío

• 460 mm de largo x 460 mm de ancho x 460 mm de alto (18" de largo x 18" de ancho x 18" de alto)

Peso de envío

• 9,1 kg (20 libras)

Garantía

• Garantía limitada de un año con asistencia de por vida. (Las piezas consumibles, como el patrón de medición de película fina, no están cubiertas por la garantía)

Instrucciones de uso

Nota de aplicación

• Puede descargarse un ejemplo de medición del espesor de películas finas metálicas con el espectrómetro de reflectancia descargar aquí (Haga clic en la imagen siguiente)
•