MTI  |  SKU: OTF1200XIIF3LV80

Horno de tubo de cuarzo de doble zona (80 mm de diámetro, 1200C máx.) con mezclador de gas de 3 canales, bomba de vacío y vacuómetro anticorrosivo - OTF-1200X-II-F3LV

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Horno de tubo de cuarzo de doble zona (80 mm de diámetro, 1200C máx.) con mezclador de gas de 3 canales, bomba de vacío y vacuómetro anticorrosivo - OTF-1200X-II-F3LV

MTI

OTF-1200X-II-F3LV es un horno de tubo dividido de doblezona con certificación CE y listo para pasar la certificación UL/CSAcon un tubo de cuarzo de 80 mm de diámetro, bomba de vacío mecánica y sistema de flujo de gas de tres canales. Puede alcanzar un vacío máximo de hasta 10-2 torr y mezclar 1-3 tipos de gases para CVD o difusión. Este sistema de horno también incluye un medidor de diafragma de capacitancia Pirani anticorrosivo para permitir mediciones de vacío con gases agresivos.

ESPECIFICACIONES


Construcción del horno
  • Carcasa de acero de doble capa con refrigeración por aire.
  • El termostato incorporado hace funcionar automáticamente el sistema de refrigeración cuando la temperatura de la carcasa > 55°C.

Consumo de energía

2,5 KW

Voltaje de entrada

CA 208-240V Monofásica, 50 o 60 Hz

Temperatura máxima 1200 °C
Temperatura de funcionamiento continuo 1100 °C
Longitud de la zona de calentamiento Dos zonas: 200 mm (8") para cada zona y 400 mm de longitud total de la zona de calentamiento


Zona de temperatura constante
  • Si se ajustan dos zonas a la misma temperatura, la zona de temperatura constante tiene una longitud de 10" (250 mm) con una discrepancia de temperatura de +/- 1°C.
  • Si sólo se utiliza una zona (zona central), la zona de temperatura constante tiene una longitud de 110 mm con una discrepancia de temperatura de +/- 1°C.
Máx. Velocidad de calentamiento <= 20 °C /min (20 °C /min por debajo de 800°C; <5 °C /min por encima de 1000°C)
Precisión de temperatura +/- 1°C
Elementos calefactores Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo









Reguladores de temperatura
  • Dos controladores de temperatura de precisión para controlar dos zonas por separado.
  • Control automático PID con 30 segmentos programables para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia.
  • Protección integrada contra sobrecalentamiento y rotura del termopar.
  • La protección contra sobretemperatura y la alarma permiten el funcionamiento sin operario.
  • Precisión de temperatura de +/- 1 ºC.
  • Puerto de comunicaciones RS485.
  • Opcional:
    • El horno puede ser operado por PC instalando dos módulos de control. Por favor, solicite los módulos de control MTS-02 con coste adicional.
    • La nueva versión del módulo PC es ahora compatible con Lab View 05/08/2014
    • Si pide el módulo de control del PC junto con el horno, lo instalaremos y probaremos antes del envío. Le recomendamos que nos encargue un ordenador portátil para evitar problemas de instalación del software. Para más información, haga clic aquí.

Tamaño del tubo y materiales

Tubo de cuarzo: 80 DE x 72 DI x 1000 L

Vacuómetro digital

Vacuum pressure gauges

Bridas de sellado al vacío
  • Dos bridas de acero inoxidable con puerto KF25, vacuómetro y válvulas incluidas.
  • La presión de vacío mínima alcanzada por una bomba mecánica es de 5,5 m-torr. (5,5x10^-3 torr). La presión puede alcanzar 10^-5 torr utilizando bombas mecánicas + moleculares.
  • La tasa de fuga es < 5 m-torr/min y la presión de vacío estable tras 24 horas es < 2 torr.
  • Haga clic en la siguiente imagen para obtener detalles de ambos gráficos y datos medidos por el medidor de vacío con certificación CE:

    Nota: Para la visualización de la curva de 24 horas, el segmento de tiempo a través de 08:00:00~21:10:00 en el eje X se omite en el gráfico; por lo tanto, se presenta una variación pronunciada.
    Monitorización de oxígeno

    Se puede utilizar un Sensor de Oxígeno para monitorizar el nivel de oxígeno de los gases utilizados en los sistemas CVD para prevenir o reducir la oxidación con un coste adicional. Haga clic en la siguiente imagen para obtener más información:
    Bomba de vacío

    Se incluye bomba de vacío de paletas rotativas de doble etapa de 156 L/m con filtro de escape (220 V monofásico) y tubo flexible de acero inoxidable para conectar al horno tubular. La presión máxima de presión de vacío es de 10^-2 torr.<p style="margin: 0in 0in 0pt;" class="MsoNormal">
    Opción: Para un control preciso de la presión de vacío, le recomendamos que elija nuestra solución llave en mano EQ-VPC-MV. Se trata de un sistema de regulación de la presión de vacío con válvula motorizada y manómetro. Controla un rango de presión de 10^-6 torr ~ 760 torr.


    Estación de control de mezcla de gases

    		 1) Caudalímetro compacto de lectura directa, 10-100 cc/min.
    2) Caudalímetro compacto de lectura directa, 16-160 cc/min.
    3) Caudalímetro compacto de lectura directa, 25-250 cc/min.
    • Un medidor de presión instalado en el interior del carro móvil para controlar la presión del depósito de mezcla.
    Válvulas Cuatro válvulas de acero inoxidable están instaladas en el panel lateral de un carro móvil para controlar la mezcla de tres gases de entrada por separado


    Dimensiones
    • Horno: 550 x 380 x 520 mm
    • Fondo Maleta móvil 600 x 600 x 597 mm Cada uno

    Peso neto

    ~ 60 kg

    Peso de envío

    750 kg

    Dimensiones de envío

    Tres Paletas 48 "x40 "x45" cada uno

    Garantía

    Garantía limitada del fabricante de un año (la garantía no cubre las piezas consumibles, como tubos de procesamiento, juntas tóricas y elementos calefactores; solicite piezas de repuesto en los productos relacionados a continuación).

    Ordenador portátil, software y control WiFi (opcional)

    • Ordenador portátil nuevo con Microsoft Windows 11 y Microsoft Office 2013 (3
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