Sorgente di sputtering a magnetrone in alto vuoto da 2" con testa flessibile e connettore rapido - HVMSS-SPC-2F

L'HVMSS-SPC-2 è una sorgente 2" diam. che può ospitare un'ampia gamma di bersagli di sputtering, come quelli metallici/isolanti o magnetici/non magnetici. La pistola magnete permanente circolare in terre rare NdFeB è stato implementato per assicurare un'eccellente uniformità del film e l'utilizzo del bersaglio. La pistola di sputtering è facile da usare e da mantenere. L'installazione è semplice e può essere utilizzata con alimentazione CC o RF.

Caratteristiche	La testa di sputtering può essere inclinata di +/- 25 gradi per regolare l'angolo di incidenza dei bombardamenti e migliorare la resa dello sputtering.  Realizzata con materiali di alta qualità in acciaio inox e ceramica.  I calcoli elettromagnetici agli elementi finiti sono utilizzati nella progettazione del gruppo magnetico permanente per ottenere un'elevata intensità di campo e un profilo di campo uniforme.  Il magnete è rivestito di materiale protettivo contro la corrosione dell'acqua di raffreddamento per massimizzare la durata. Connettore RF standard, compatibile con un'ampia gamma di alimentatori per sputtering DC e RF. Le teste di sputtering a bassa impedenza sono facilmente interfacciabili con un alimentatore esterno. Facile installazione di un raccordo standard con il connettore incluso connettore rapido Piastra di supporto in rame da 2" (EQ-CBP-2) è inclusa. La sostituzione del bersaglio è facile e non è necessario regolare la pistola per adattarla a bersagli di altezza diversa.
Requisiti di alimentazione	DC (max.) 500 W RF (max.)  300 W
Tipo di connessione elettrica	Standard Connettore per cavo SL16 ( Fig.1 ) Opzionale 1Cavo RF da 48 cm con connettore SL6 (fare clic sulla Fig. 2 per ordinare)                   Figura 1 Figura 2
Corrente di sputtering (max.)	5 Amp
Tensione di sputtering	200-1000 V
Pressione di sputtering	1-1000 mTorr
Curva di uniformità dello sputtering
Dimensioni	Diametro dello schermo anodico: 86 mm
Bersaglio sputtering	Diametro: 50,8 mm (2,0"),  Spessore: fino a 1/4" per target non magnetici; fino a 1/16" per il bersaglio magnetico Utilizzazione: fino al 30%. Magnete: Magnete in terre rare NdFeB
Fabbisogno di acqua di raffreddamento	Portata: 0,8 GPM, filtrato Temperatura di ingresso dell'acqua: <20 C Tubo dell'acqua: Attacco rapido da 6 mm.
Montaggio	Passaggio di alimentazione: tubo da 3/4" O.D.
Peso netto	3,5 libbre
Accessori	Connettore rapido per alto vuoto con ID 0,75" incluso. Utilizzare questo componente per installare la sorgente di sputtering sulla piastra di base (fino a 1" di spessore) di una camera da vuoto con foro passante di 1" di diametro (fare clic sull'immagine in basso a sinistra per vedere i dettagli). Flangia da 6" CF con passante per alto vuoto è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo. La testa di sputtering può essere facilmente installata sulla flangia da vuoto da 6'' CF attraverso il disconnettore rapido. La posizione in altezza della pistola sputtering può essere regolata manualmente all'interno della camera da vuoto. (Fare clic sulle foto sotto 3 e 4 per vedere i dettagli). Il refrigeratore d'acqua digitale a temperatura controllata con serbatoio da 6 litri, flusso di 16 litri/minuto, è disponibile a un costo aggiuntivo; per ordinarlo, fare clic sull'immagine sottostante a destra.
Istruzioni per il funzionamento
Garanzia	Un anno di garanzia limitata con assistenza a vita
Altri componenti Sputter	Fare clic sull'immagine qui sopra per visualizzare altri prodotti.