Forno rotativo PE-HPCVD a 1200 C con evaporatore in situ, MFC a 4 canali e pompa per vuoto - OTF-1200X-II-PEC4

OTF-1200X-II-PEC4 è un sistema di deposizione chimico-fisica da vapore potenziata al plasma (PE-HPCVD) a due zone, ruotabile, con temperatura di 1200 °C. È costituito da un telaio inclinabile, un generatore di plasma RF da 300 W con rete di adattamento, una vaschetta di evaporazione a monte con alimentatore, un sistema di erogazione del gas MFC a quattro canali e una pompa per vuoto ad alte prestazioni. Un sistema così completo rappresenta uno strumento eccellente per il trattamento termico di polveri di composti inorganici, garantendo temperature elevate e un’eccellente uniformità del rivestimento superficiale (ad esempio, per la preparazione di polveri catodiche per batterie agli ioni di litio con rivestimenti conduttivi sulla superficie).

SPECIFICHE:

Struttura del sistema	Il telaio inclinabile regolabile da 0 a 25° facilita il carico e lo scarico delle polveri L’alimentatore RF integrato da 300 W (13,56 MHz) con rete di adattamento consente la lavorazione potenziata dal plasma, riducendo significativamente la necessità di processi ad alta temperatura La rotazione del tubo azionata da ingranaggi consente una lavorazione di tipo “miscelante” delle polveri per ottenere la massima uniformità di trattamento  La stazione di miscelazione del gas a quattro canali con MFC garantisce un controllo preciso dell’erogazione del gas L’integrazione della vaschetta di evaporazione a sorgente a monte con bobina di tungsteno consente di sublimare precursori solidi per le esigenze della lavorazione fisico-chimica ibrida
Forno rotativo a due zone	Temperatura di esercizio: 1200 °C max (<1 ora) e 1100 °C per il riscaldamento continuo  Due regolatori di temperatura PID programmabili su 30 segmenti. Alimentazione: 208 – 240 V CA, monofase, max. 2,5 kW. Isolamento in fibra di allumina ad alta purezza per il massimo risparmio energetico Motore a corrente continua con riduttore che aziona il tubo di quarzo a velocità variabile da 2 a 10 giri al minuto Il coperchio a due parti consente un raffreddamento più rapido e un facile utilizzo Due zone: lunghezza di ciascuna zona 8" (200 mm), per una zona di riscaldamento totale di 16" (400 mm) Zona a temperatura costante: 200 mm con tolleranza di +/-1 °C se entrambe le zone sono alla stessa temperatura.
Alimentatore RF al plasma	Potenza in uscita: da 5 a 300 W regolabile con stabilità del ± 1%. Frequenza RF: 13,56 MHz con stabilità del ±0,005%. Potenza di riflessione: 100 W max. Adattamento: Automatico Porta di uscita RF: 50 Ω, tipo N, femmina Rumore: <50 dB. Raffreddamento: Raffreddamento ad aria. Alimentazione: 208-240 V CA, monofase, 50/60 Hz
Barchetta di evaporazione	Temperatura di esercizio: 1300 ºC max (<1 ora) e 1200 ºC per il riscaldamento continuo (1500 ºC con la camera del forno riscaldata a 800 ºC) Crogiolo in allumina da 0,7 ml circondato da una spirale di riscaldamento in tungsteno. Inserti termocoppia di tipo S per una misurazione accurata della temperatura del materiale di partenza. Alimentatore per evaporazione da 500 W CC con corrente massima di funzionamento a 30 A
Tubo di quarzo	Standard: tubo di lavorazione in quarzo fuso con diametro esterno di 4''; cliccare sull’immagine a sinistra per i dettagli Una coppia di flange di tenuta in acciaio inossidabile da 60 mm con valvole a spillo rotanti per il collegamento del gas è inclusa per l’uso immediato
Flangie di tenuta	Una coppia di flange a sgancio rapido da 1'' di diametro esterno con attacco KF25 è installata su ciascuna estremità del tubo Viene utilizzato un giunto girevole con tenuta a fluido magnetico per consentire la rotazione del tubo senza torsione.            Set di flange sinistro Set di flange destro
Velocità di rotazione del tubo	variabile da 0 a 5 giri/min
Angolo di inclinazione del forno	0~30°
Pompa a vuoto e manometro	La pompa per vuoto a doppio stadio ad alte prestazioni EQ-FYP è inclusa nella vendita; clicca sull'immagine a sinistra per visualizzare le specifiche dettagliate. L'adattatore KF25 e il soffietto in acciaio inossidabile sono collegati tra la pompa e la flangia del tubo All'interno del tubo di lavorazione è possibile raggiungere un vuoto di 10E-2 Torr    Nota: il vacuometro è disponibile a un costo aggiuntivo; cliccare sul testo sottolineato per ordinarlo
Stazione di miscelazione gas MFC	Quattro misuratori di portata massica di precisione (precisione dello 0,02%) con display digitali sono installati sul fondo dell’alloggiamento per controllare automaticamente la portata del gas.  MFC 1: Intervallo di flusso del gas da 0 a 100 SCCM MFC 2 e 3: intervallo di controllo da 0 a 200 SCCM   MFC 4: intervallo di controllo da 0 a 500 SCCM Raccordi di ingresso/uscita del gas: raccordo per tubi con diametro esterno di 6 mm Alimentazione: 208-240 V CA, 50/60 Hz Valvole a spillo in acciaio inossidabile per il controllo manuale ON/OFF dell’erogazione del gas. L'ampio pannello di controllo PLC con touch screen consente di impostare facilmente la portata
Controllo della temperatura	Design a due zone di riscaldamento con regolatore di temperatura indipendente Controllo PID preciso del riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza; 30 segmenti programmabili per  Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia. La protezione da sovratemperatura e l’allarme consentono il funzionamento senza la presenza di personale di sorveglianza. Precisione della temperatura di +/- 1 ºC. Tre termocoppie di tipo K (una per ciascuna zona). Porta di comunicazione RS485. Opzionale:   Il forno può essere comandato tramite PC installando un modulo di controllo. Si prega di ordinare un modulo di controllo MTS-02 a un costo aggiuntivo.  Se si ordina il modulo di controllo per PC insieme al forno, provvederemo a installarlo e testarlo prima della spedizione. Si consiglia di ordinare da noi un computer portatile per evitare problemi di installazione del software. Per ulteriori informazioni, cliccare qui.
Alimentatore volumetrico e serbatoio di raccolta (opzionale)	L’alimentatore automatico EQ-PF-1S include un agitatore motorizzato e una tramoggia in acciaio inossidabile con vibratore integrato. È progettato per l’alimentazione di polveri solide in un forno per la cottura/il trattamento termico in continuo. Cliccare sull’immagine 1 a sinistra per effettuare l’ordine. Il serbatoio di raccolta in acciaio inossidabile (capacità 2 litri) può essere installato all’altra estremità del tubo di lavorazione per raccogliere la polvere cotta senza esporla all’aria. Clicca sull’immagine 2 a sinistra per vedere i dettagli È possibile aggiungere una valvola a saracinesca a vuoto sulla parte superiore del serbatoio di raccolta dei campioni per i materiali sensibili all’aria. (Fig. 3)