Forno tubolare a 1100°C con sublimatore di precursore solido per strati 2D CVD di TMD - OTF-1200X-4-NW-UL

OTF-1200X-4-NW-UL è un forno tubolare CVD compatto da 1100 °C dotato di un accessorio per la sublimazione dei precursori. L’impianto di sublimazione è dotato di quattro canali di immissione del gas, che consentono l’alimentazione di vari gas per convogliare il vapore della sorgente nel riscaldatore principale per l’ulteriore decomposizione e deposizione. Il supporto per i campioni montato sulla flangia destra è scorrevole per facilitare il carico e lo scarico dei campioni. Tale configurazione del sistema è adatta alla crescita di un’ampia gamma di dicalcogenuri di metalli di transizione (TMD), quali MoSe₂, MoS₂... e di strati di semiconduttori a banda larga (come l’h-BN) su substrati con diametro fino a 3".

Specifiche

Forno e preriscaldatore Fig. 1 Fig. 2	Sistema compatto di forno CVD con: tubo di quarzo con diametro esterno di 4,33" x diametro interno di 4,05" x lunghezza di 29,13" (diametro esterno 110 x diametro interno 103 x lunghezza 740, mm) Temperatura massima di esercizio 1100 °C con precisione di +/- 1 °C La flangia di raffreddamento ad acqua sul lato destro è scorrevole per facilitare il caricamento dei campioni La flangia di raffreddamento ad acqua sul lato sinistro, tra il riscaldatore e il forno, serve per l’immissione del gas preriscaldato e per la tenuta L’ingresso del gas a quattro canali (tubo da 1/8" di diametro e raccordo) è integrato nella flangia laterale sinistra Un piccolo riscaldatore è fissato alla flangia sinistra del forno per preriscaldare gas, liquidi o per far evaporare sostanze chimiche solide, che verranno poi convogliati al forno CVD: Cliccare sull’immagine a sinistra per maggiori dettagli: Tubo in acciaio inossidabile da 1,2'' di diametro esterno x 6'' di lunghezza come camera di riscaldamento Piccolo tubo di quarzo con diametro interno di 1", sigillato sottovuoto, all’interno del riscaldatore (Fig. 2) Temperatura massima di esercizio 400 °C (su richiesta è disponibile un riscaldatore da 1000 °C) La flangia sul lato sinistro serve per la tenuta e l’immissione del gas
Tensione nominale	Monofase, 208-240 V CA, 50/60 Hz; cavo di alimentazione AWG n. 8 incluso (senza spina)
Consumo energetico	Max. 3600 W (è necessario un interruttore da 20 A)
Zona di riscaldamento	Forno CVD: 440 mm Zona a temperatura costante: 100 mm  Riscaldatore a gas: 150 mm
Temperatura di esercizio	Forno CVD: Temperatura massima di riscaldamento: 1100 °C ( < 2 ore ) Temperatura di funzionamento continuo: 200~1000 °C Velocità massima di riscaldamento e raffreddamento: 20 °C/min Riscaldatore: Temperatura di funzionamento continuo: temperatura ambiente ~ 600 °C Velocità massima di riscaldamento e raffreddamento: 20 °C/min
Controllo della temperatura	Forno CVD e riscaldatore (controllo separato della temperatura): Regolatori digitali con funzioni PID/autoregolazione e 30 segmenti programmabili Termocoppia: termocoppie di tipo K, posizionate sulla flangia destra tramite passante per il controllo della temperatura del forno. Precisione di controllo: +/- 1 °C Porta di comunicazione RS485
Sigillatura sottovuoto e del gas e flangia	La flangia destra del forno CVD Flangia di raffreddamento ad acqua per impedire la fusione dell’O-ring di tenuta (cliccare su “refrigeratore d’acqua” per ordinare) Attacco per vuoto KF25 per il collegamento a una pompa; cliccare qui per ordinare una pompa, un tubo per vuoto, una valvola e una guarnizione di tenuta Scorrevole per consentire al cliente di inserire/estrarre un campione in modo facile e veloce È incluso un supporto per wafer di quarzo (diametro 3") e la flangia con blocco radiante di riscaldamento  È incluso un manometro a diaframma capacitivo anticorrosivo Flangia sinistra (tra il forno CVD e il riscaldatore) con quattro raccordi Swagelok da 1/8'' per tubi da 1/8'': Due raccordi da 1/8'' sulla flangia per l’immissione diretta e indipendente di qualsiasi gas nel forno CVD  Un raccordo da 1/8'' per convogliare il gas riscaldato dal riscaldatore al forno CVD Un raccordo da 1/4'' per deviare il gas (senza riscaldamento) verso il forno CVD (all’interno del forno CVD, il tubo del gas si unisce al tubo del gas riscaldato tramite un raccordo a T) Nota: Come è assemblato il tubo del gas nel forno CVD tramite il raccordo da 1/8'' sopra indicato: Un tubo di quarzo da 1/4'' convoglia il gas vaporizzato dal riscaldatore (così come il gas di bypass tramite un raccordo a T) Due tubi di quarzo da 1/4'' convogliano gas aggiuntivo tramite i due raccordi separati da 1/8'' situati sulla flangia sinistra del forno principale Questi tre tubi di quarzo da 1/4'' all’interno del forno CVD sono disposti in parallelo e si trovano verticalmente 1'' più in alto rispetto al portacampioni  Questi tre tubi di quarzo da 1/4'' possono essere facilmente rimossi per la pulizia o sostituiti qualora si blocchino o si corrodano Riscaldatore: Flangia sinistra: un raccordo per gas da 1/8'' per fornire gas al riscaldatore per ile successivamente al forno CVD Sul lato destro verso il forno CVD con il necessario materiale isolante termico per ridurre al minimo il gradiente di temperatura all’interfaccia tra il riscaldatore e il forno CVD Installazione della camera del forno Su ciascuna flangia è installato un adattatore per tubi da 2-1/4"
Il dispositivo di iniezione del liquido (opzionale)	Per il CVD a liquido diretto (DLCVD), è possibile prendere in considerazione i seguenti dispositivi per l’iniezione del liquido: (cliccare sull’immagine per ordinare)
Peso netto	110 kg
Dimensioni	Standard: 62" L x 18" L x 23" A Massime: 80" L x 18" L x 32" A (coperchio aperto e flangia laterale destra estesa)
Peso e dimensioni di spedizione	380 libbre 48" x 40" x 54"
Garanzia	Garanzia limitata di un anno per le parti elettriche. (Le parti soggette a usura, quali tubi di trattamento, o-ring e simili, non sono coperte dalla garanzia) È possibile ordinare un tubo al quarzo di ricambio qui: EQ-QZTube-SF
Computer portatile, software e controllo Wi-Fi (opzionale)	Computer portatile nuovo di zecca con Microsoft Windows 10  Il sistema di controllo della temperatura basato su LabVIEW (EQ-MTS01) consente all’utente di modificare i profili di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI. Un telecomando wireless offre un raggio d’azione fino a 50 metri in uno spazio aperto. Il regolatore di temperatura Eurotherm con software è disponibile su richiesta a un costo aggiuntivo e garantisce una precisione di +/- 0,1 °C. (vedere la barra delle opzioni del prodotto)
Conformità	Certificato CE Le certificazioni NRTL (UL61010) o CSA sono disponibili a un costo aggiuntivo.
Avviso : clicca qui per informazioni sull’installazione di un regolatore di gas	I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l’uso sotto vuoto e a bassa pressione <0,2 bar (rispetto a 1 atm; pressione assoluta = 1,2 bar se utilizzati all’aria) Attenzione: per garantire un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione al di sotto di 3 PSI. Clicca qui per informazioni sull’installazione di un regolatore di pressione del gas.  Le pressioni sotto vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000 °C
Video dimostrativo del funzionamento