Forno tubolare a zona singola (diametro 80 mm, 1200 C max) con miscelatore di gas a 3 canali, pompa per vuoto e manometro per vuoto anticorrosivo - OTF-1200X-80-F3LV
Consegna e spedizione nell'UE
Consegna e spedizione nell'UE
Nel preventivo aggiungeremo i costi di spedizione, assicurazione e sdoganamento.
Forno tubolare a zona singola (diametro 80 mm, 1200 C max) con miscelatore di gas a 3 canali, pompa per vuoto e manometro per vuoto anticorrosivo - OTF-1200X-80-F3LV
MTI
OTF-1200X-80-F3LV è un forno tubolare monozona separabile, certificato CE, dotato di un tubo di quarzo del diametro di 80 mm, una pompa a vuoto meccanica e un sistema di flusso del gas a tre canali. È in grado di raggiungere un vuoto massimo di 10⁻² torr e di miscelare da 1 a 3 tipi di gas per processi CVD o di diffusione. Questo sistema di forno include inoltre un manometro a diaframma capacitivo Pirani anticorrosivo che consente di effettuare misurazioni del vuoto in presenza di gas aggressivi.
SPECIFICHE
| Struttura del forno |
|
| Consumo energetico | 2,5 kW |
| Tensione di ingresso | CA 208-240 V monofase, 50 o 60 Hz |
| Temperatura massima | 1200 °C |
| Temperatura di funzionamento continuo | 1100 °C |
| Velocità massima di riscaldamento | <= 20 °C/min |
| Lunghezza della zona di riscaldamento | 400 mm |
| Zona a temperatura costante | 150 mm (+/-1 °C) |
| Precisione della temperatura | +/- 1 °C |
| Elementi riscaldanti | Lega Fe-Cr-Al con aggiunta di Mo |
| Regolatori di temperatura |
![]() |
| Dimensioni e materiali del tubo | Tubo di quarzo: Diametro esterno: 80 mm x Diametro interno: 75 mm x Lunghezza: 1000 mm |
| |
| Flangie di tenuta per vuoto | Due flange in acciaio inossidabile dotate sia di vacuometro che di valvola. Il tasso di perdita della flangia è di 6 mtorr/min al massimo e di 2 mtorr/min in condizioni stabili. Clicca sull’immagine qui sotto per visualizzare i dettagli sia del grafico che dei dati misurati dal vacuometro certificato CE: Nota: per la visualizzazione della curva delle 24 ore, l’intervallo di tempo compreso tra 08:00:00 e 21:10:00 sull’asse X è stato omesso nel grafico; pertanto, si osserva una forte variazione. |
| Monitoraggio dell’ossigeno | È possibile utilizzare un sensore di ossigeno per monitorare il livello di ossigeno dei gas impiegati nei sistemi CVD al fine di prevenire o ridurre l’ossidazione. Clicca sull’immagine qui sotto per saperne di più: |
| |
| Misuratore di portata e manometro per gas |
2) Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 16-160 cc/min 3) Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 25-250 cc/min
|
| Valvole | Quattro valvole in acciaio inossidabile sono installate sul pannello laterale del carrello mobile per controllare separatamente la miscelazione dei tre gas in ingresso. |
| Dimensioni |
|
| Peso netto | ~ 60 kg |
| Peso di spedizione | 200 libbre |
| Dimensioni di spedizione | Due colli su un pallet: 45" x 45" x 35" per collo |
| Garanzia | Garanzia limitata del produttore di un anno (le parti soggette a usura, quali tubi di elaborazione, O-ring ed elementi riscaldanti, non sono coperte dalla garanzia; si prega di ordinare i ricambi tra i prodotti correlati riportati di seguito). |
| Computer portatile, software e controllo Wi-Fi (opzionale) |
|
| Conformità |
|
| Note
| |








