MTI  |  SKU: OTF1200XF3LV80

Forno tubolare a zona singola (diametro 80 mm, 1200 C max) con miscelatore di gas a 3 canali, pompa per vuoto e manometro per vuoto anticorrosivo - OTF-1200X-80-F3LV

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Forno tubolare a zona singola (diametro 80 mm, 1200 C max) con miscelatore di gas a 3 canali, pompa per vuoto e manometro per vuoto anticorrosivo - OTF-1200X-80-F3LV

MTI

OTF-1200X-80-F3LV è un forno tubolare monozona separabile, certificato CE, dotato di un tubo di quarzo del diametro di 80 mm, una pompa a vuoto meccanica e un sistema di flusso del gas a tre canali. È in grado di raggiungere un vuoto massimo di 10⁻² torr e di miscelare da 1 a 3 tipi di gas per processi CVD o di diffusione. Questo sistema di forno include inoltre un manometro a diaframma capacitivo Pirani anticorrosivo che consente di effettuare misurazioni del vuoto in presenza di gas aggressivi.

SPECIFICHE

Struttura del forno
  • Custodia in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria
  • Il termostato integrato avvia automaticamente il sistema di raffreddamento quando la temperatura dell’involucro supera i 55 °C

Consumo energetico

2,5 kW

Tensione di ingresso

CA 208-240 V monofase, 50 o 60 Hz

Temperatura massima

1200 °C

Temperatura di funzionamento continuo

1100 °C

Velocità massima di riscaldamento

<= 20 °C/min

Lunghezza della zona di riscaldamento

400 mm

Zona a temperatura costante

150 mm (+/-1 °C)

Precisione della temperatura

+/- 1 °C

Elementi riscaldanti Lega Fe-Cr-Al con aggiunta di Mo

Regolatori di temperatura

  • Controllo automatico PID tramite SCR (raddrizzatore controllato al silicio) con regolazione di potenza a accensione ad angolo di fase e resistore limitatore di corrente.
  • 30 segmenti programmabili per il controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza.
  • Clicca qui per scoprire perché l’SCR è più preciso dell’SSC (relè a stato solido).
  • Funzione di autoregolazione PID integrata con protezione da surriscaldamento e da termocoppia rotta.
  • La protezione da sovratemperatura e l’allarme consentono il funzionamento senza la presenza di personale di sorveglianza.
  • Precisione della temperatura di +/- 1 ºC.
  • Porta di comunicazione RS485.
    • Controllo avanzato della temperatura (opzionale)
    • Il kit software di controllo della temperatura MTS02-Y (per i regolatori della serie YD518P) + pacchetto con laptop da 15" è disponibile nella barra delle opzioni. Clicca qui per informazioni dettagliate sul kit software MTS02-Y. 
    • È possibile aggiornare il regolatore di temperatura al modello Eurotherm 3504, pienamente compatibile con LabVIEW. Questo pacchetto include un programmatore Eurotherm 3504, un cavo di comunicazione (RS485 - USB) e un CD con il software. Clicca sull’immagine qui sotto per visualizzare le specifiche complete del regolatore di temperatura Eurotherm 3504. 
            

Dimensioni e materiali del tubo

Tubo di quarzo: Diametro esterno: 80 mm x Diametro interno: 75 mm x Lunghezza: 1000 mm

Manometro digitale
Vacuum pressure gaugesper vuoto 
  • Vacuometro a diaframma capacitivo resistente alla corrosione con testa del sensore rivestita in ceramica, progettato appositamente per misurazioni sotto vuoto in presenza di gas corrosivi
  • Il vacuometro è installato sulla flangia di vuoto (lato destro) del forno a tubo e offre un ampio intervallo di misura (da 10⁻⁵ a 1000 torr)
Flangie di tenuta per vuoto

Due flange in acciaio inossidabile dotate sia di vacuometro che di valvola. Il tasso di perdita della flangia è di 6 mtorr/min al massimo e di 2 mtorr/min in condizioni stabili. Clicca sull’immagine qui sotto per visualizzare i dettagli sia del grafico che dei dati misurati dal vacuometro certificato CE: 

        

Nota: per la visualizzazione della curva delle 24 ore, l’intervallo di tempo compreso tra 08:00:00 e 21:10:00 sull’asse X è stato omesso nel grafico; pertanto, si osserva una forte variazione.

Monitoraggio dell’ossigeno

È possibile utilizzare un sensore di ossigeno per monitorare il livello di ossigeno dei gas impiegati nei sistemi CVD al fine di prevenire o ridurre l’ossidazione. Clicca sull’immagine qui sotto per saperne di più:
        

Pompa per vuoto

Misuratore di portata e manometro per gas
New Version front panel
          1) Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 10-100 cc/min
2) Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 16-160 cc/min
3) Misuratore
di portata compatto a lettura diretta, 25-250 cc/min
  • All’interno del carrello mobile sono installati quattro manometri in grado di monitorare la pressione di tre tipi di gas in flusso, oltre alla pressione del serbatoio di miscelazione.
Valvole Quattro valvole in acciaio inossidabile sono installate sul pannello laterale del carrello mobile per controllare separatamente la miscelazione dei tre gas in ingresso.

Dimensioni

  • Forno: 550 x 380 x 520 mm
  • Cassa mobile inferiore: 600 x 600 x 597 mm 

Peso netto

~ 60 kg

Peso di spedizione

200 libbre

Dimensioni di spedizione

Due colli su un pallet: 45" x 45" x 35" per collo

Garanzia

Garanzia limitata del produttore di un anno (le parti soggette a usura, quali tubi di elaborazione, O-ring ed elementi riscaldanti, non sono coperte dalla garanzia; si prega di ordinare i ricambi tra i prodotti correlati riportati di seguito).

Computer portatile, software e controllo Wi-Fi (opzionale)

  • Computer portatile nuovo di zecca con Microsoft Windows 10 e Microsoft Office 2013 (30 giorni di prova gratuita) pronto all’uso
  • Il sistema di controllo della temperatura basato su LabVIEW (EQ-MTS01) consente all’utente di modificare il profilo di temperatura, gestire le ricette di trattamento termico, registrare e tracciare i dati per i forni MTI
  • Un telecomando wireless offre un raggio d’azione fino a 300 metri
  • Le caratteristiche sopra indicate sono disponibili su richiesta a un costo aggiuntivo (fino a 1.000 $). Vi preghiamo di contattarci per ulteriori informazioni
  • Nota:
    il software è compatibile esclusivamente con il regolatore di

    temperatura Yudian di MTI    

Conformità

  Certificato CE

Note

applicative Clicca qui per scoprire come installare un regolatore di gas