Forno tubolare da 1200°C max per CVD assistita da plasma a microonde (MPCVD) da 2" - GSL-1200X-50-MWPE

• Camera a microonde da 1400 W a 2,45 GHz
• Schermatura in acciaio inossidabile e alluminio per la protezione dalle radiazioni a microonde 
• Riscaldamento rapido con velocità fino a 20 ºC/minuto
• Modulo di riscaldamento all’interno della camera a microonde con temperatura massima di esercizio di 1200 °C
• Controllo preciso della temperatura con 30 segmenti programmabili con una tolleranza di +/- 1 °C
• Materiale isolante termico colato sotto vuoto per il massimo risparmio energetico.

• 2000 W 
• 208-240 V CA, monofase, 50/60 Hz

• Frequenza: 2,45 GHz ±25 MHz
• Potenza in uscita: 1400 W
• Dispersione di microonde: ≤ 3 mW/cm² a 1 metro di distanza. 
• È integrato un regolatore di potenza digitale per regolare la potenza in uscita dal 10 al 100%

• All’interno del modulo in allumina fibrosa è installata una spirale di riscaldamento in filo Ni-Cr-Al con diametro interno di 80 mm (Fig. 1)
• La bobina di riscaldamento è collocata all’interno della camera a microonde
• Un tubo di quarzo da 2" (diametro esterno 50 x diametro interno 44 x lunghezza 600 mm) è inserito all’interno del modulo di riscaldamento e della camera a microonde per generare il plasma (Fig. 2)

Fig. 1 Fig. 2

• È inclusa una coppia di flange per il vuoto per sigillare il tubo di quarzo
• Nella flangia sono integrati un attacco per vuoto KF25 e un ingresso e un'uscita per gas da 1/4 con valvole a spillo (Fig. 1)
• È incluso un vacuometro digitale per il controllo del vuoto (Fig. 2)
• Livello massimo di vuoto: 10⁻² torr con pompa a secco e 10⁻⁵ torr con pompa turbo.
• La pompa non è inclusa. Cliccare sulla Fig. 3 per ordinarla separatamente. Per applicazioni CVD, si consiglia di scegliere una pompa a secco.

Fig. 1 Fig. 2 Fig. 3

 Temperatura di esercizio

• Max. 1200 ºC < 30 minuti con l’ausilio del modulo di riscaldamento
• Min. 800 °C con modulo di riscaldamento
• ≤ 1100 °C in funzionamento continuo con l'ausilio del modulo di riscaldamento e del plasma
• Velocità di riscaldamento: da 1 a 20 °C/min programmabile
• Riscaldamento fino a ~750 °C solo a microonde senza controllo della temperatura

 Regolatore di temperatura

• Certificato CE
• Certificazione NRTL o CSA disponibile su richiesta