Regolatore di portata massica equivalente a N2 fino a 5000sccm (senza display, solo per sostituzione) - MFC-7B
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Nel preventivo aggiungeremo i costi di spedizione, assicurazione e sdoganamento.
Regolatore di portata massica equivalente a N2 fino a 5000sccm (senza display, solo per sostituzione) - MFC-7B
MTI
L'EQ-MFC-7B è un MFC economico destinato ai forni CVD/PECVD/grafene di MTI, progettato per controllare la portata dei gas in diverse applicazioni di ricerca.
- Gli MFC vengono calibrati di serie con N₂ in fabbrica; la calibrazione con altri gas può essere effettuata in modo approssimativo convertendo i fattori di conversione indicati nelle nostre istruzioni.
- È possibile ordinare MFC calibrati per altri gas su richiesta; vi preghiamo di inviarci un’e-mail per conoscere il prezzo; i tempi di consegna sono di 8-10 settimane dall’ordine.
- Regolatore di flusso massico destinato esclusivamente all’uso nei sistemi di controllo gas multicanale MTI
- Ideale per la deposizione sotto vuoto e altre applicazioni con miscele di gas.
- Connettore a pin DB15 standard internazionale; si collega ai forni MTI con raccordo Swagelok da 1/4
- Nota: questo MFC è destinato alla sostituzione del sistema di miscelazione e erogazione del gas MTI presente nel prodotto correlato indicato di seguito. Per poterlo utilizzare in modo indipendente, è necessario ordinare l’MFC-COM
Specifiche
| Intervallo di fondo scala (N₂) | (0100, 200, 500, 1000, 2000, 5000) SCCM Altri intervalli possono essere personalizzati a un costo aggiuntivo; inviare un’e-mail all’indirizzo info@mtixtl.com |
| Precisione | ±1,5% F.S. |
| Ripetibilità | ±0,2% del fondo scala |
| Linearità | ±1% del fondo scala |
| Tempo di risposta | ≤10 sec |
| Configurazione della valvola | Normalmente chiusa |
| Temperatura di esercizio | 545 |
| Segnale di ingresso | (05) V CC |
| Segnale di uscita | (05) V CC |
| Alimentazione | +15 V 50 mA; -15 V 200 mA |
| Connettore elettronico | D-sub a 15 pin maschio |
| Pressione differenziale | (0,1–0,5) MPa |
| Pressione massima | 3 MPa |
| Tenuta | 1×10⁻⁸ atm·cc/sec He |
| Materiali delle guarnizioni | Viton; Neoprene |
| Raccordi | Swagelok 1/4” |
| Peso | 1,1 kg |
