Film diamantato conduttivo elettrico su isolante (DCI), 5x5 mm, spessore 2 um,

Specifiche:

• Pellicola: UNCD (diamante ultrananocristallino)
• Dimensioni del wafer: 5x5x0,5 mm
• Orientamento del wafer di silicio: (100) ± 0,5^°
• Strato isolante: SiO₂
• Spessore del film di diamante: 2 micron, Strato di ossido: 1 micron
• Resistività: <0,1 ohm-cm
• Rugosità superficiale: così come cresciuta, RA < 10 nm

 Confezione: una camera bianca di classe 1000 con sacchetto di plastica di classe 100